판매용 중고 FILMETRICS F3 #293593195

ID: 293593195
Thickness measurement systems.
FILMETRICS F3은 반도체 제조 작업에 사용하도록 설계된 다목적 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 빠르고, 고해상도 이미징, 다목적 표면 테스트, 고급 통계 분석 (statistical analysis) 을 제공하여 오늘날의 고급 프로세스에서 귀중한 도구입니다. F3 는 컴팩트하고 자동화된 장치로, 빠른 설치 및 효율적인 런타임을 제공합니다. 유연한 아키텍처를 통해 다양한 기존 장비, 프로토콜과 완벽하게 통합할 수 있습니다. 반도체 제작 (semiconductor fabrication) 고객에게는 종종 필요한 모든 표준 테스트를 완료할 수 있도록 측정 영역이 넓습니다. 또한 FILMETRICS F3는 0.1 미크론 정도의 해상도를 가진 작은 기능 또는 구조를 측정 할 수 있습니다. F3 는 정교한 이미징 머신 (Imaging Machine) 을 통해 동기화된 초점 이미지와 이벤트, 자동 수정 처리, 관련 데이터 포인트 매핑 기능 등을 제공합니다. 이 도구의 내장 통계 분석 기능을 통해 처리 후 웨이퍼 (wafer) 토폴로지를 비교할 수 있습니다. 또한 FILMETRICS F3는 전기 측정, 커패시턴스-전압 측정, 물리적 매개변수 스캔 등 다양한 표면 테스트 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 자산에는 스캐닝 (scanned) 기판의 정렬을 단순화하기 위해 통합 진공 척 (vacuum chuck) 과 민감한 장치의 정확한 테스트를 위해 가열된 척 (chuck) 이 장착되어 있습니다. F3 고급 도량형 모델 (Advanced Metrology model) 은 반도체 프로세스 제어를 위한 포괄적인 도구 모음을 제공하여 웨이퍼 지형, 전자 장치 및 기타 물리적 특성의 정확한 특성을 제공합니다. 자동화된 데이터 수집 (automated data collection) 과 결합하면 자동화된 웨이퍼 (wafer) 및 디바이스 테스트를 위한 강력한 솔루션을 제공합니다.
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