판매용 중고 FILMETRICS F20-UV #9205805

FILMETRICS F20-UV (FILMETRICS F20-UV) 는 반도체 장치 생산 과정에서 비파괴 표면 측정을 수행하는 데 사용되는 웨이퍼 검사 및 측정 장비입니다. 200mm 및 300mm 웨이퍼를 스캔할 수 있는 완전 자동화 시스템으로, 최대 200mm/s의 스캔 속도를 제공합니다. FILMETRICS F 20 UV는 광학 및 UV 가시 광선의 조합을 사용하여 웨이퍼를 검사합니다. 광학 조명 모드에서이 장치는 흰색 조명 및 가변 각도 3D 측정을 사용하여 전체 웨이퍼에 걸쳐 평평함 (flatness), 웨이퍼 서피스 형태 (wafer surface shape) 및 서피스 스텝 높이를 식별합니다. UV-visible 조명 모드에서 기계는 자외선, 파란색 및 적외선을 사용하여 결정 구조 인터페이스, 두께, 필름 거칠기 및 굴절률을 2nm 해상도까지 식별합니다. 또한 F20-UV 는 웨이퍼 매핑, 결함 감지, 광학 성능 측정용 고급 소프트웨어를 제공합니다. 소프트웨어의 자동 빼기 도구 (automated subtraction tools) 를 사용하면 웨이퍼에서 현지화된 결함을 정확한 표면 비교와 식별할 수 있습니다. 또한 빠른 데이터 캡처 및 분석 기능을 제공하며, 튜닝이 필요 없습니다. 또한, F 20 UV에는 정확한 농도 측정을 위해 수동, 반자동 및 완전 자동 챔버 터보 분자 펌프를 포함한 고급 도량형 도구가 포함되어 있습니다. 자산은 데이터 로깅, 분석, 보고를 위한 데이터 표시 및 시각화 툴을 통합합니다. FILMETRICS F20-UV 는 높은 처리량 웨이퍼 생산에 이상적인 포괄적이고 경제적인 솔루션입니다. 정확하고 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었으며, 프로세스 제어와 품질 보증을 효율적으로 수행할 수 있습니다 (영문). 이 모델은 실험실과 제조 시설에 적합하며, 사용하기 쉽고, 직관적이며, 빠른 검사 및 측정 장치를 제공합니다.