판매용 중고 FILMETRICS F10-RT-UV #293768760
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ID: 293768760
Thin film analyzer
Wavelength range: 190-1100 nm
Thickness measurement range: 1 nm-40 µm
Minimum thickness: 50 nm
Probe spot size: 6 mm
Interface: USB 1.0
Light source
Accuracy:
Precision: 0.02 nm
Stability: 0.05 nm
Halogen light
Spectrometer:
Wavelength accuracy: 0.5 nm
Wavelength reproducibility: 0.1 nm
Wavelength resolution: 2.5 nm
Noise: <0.0002 A
Stray light: <0.25% at 500 nm
Amplitude resolution: 14 Bit
Does not include PC
Operating system: Windows XP, 64 Bit
CE Marked
Power supply: 100-240 VAC, 20 W, 50/60 Hz.
FILMETRICS F10-RT-UV는 반도체 제조 공정을 정확하고 정확하게 측정하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 반도체 웨이퍼의 품질과 일관성을 보장하는 데 필수적인 툴이 되는 다양한 혁신적인 기술과 기능을 갖추고 있습니다. F10-RT-UV의 주요 기능 중 하나는 자외선 (UV) 측정 기능입니다. UV 분광법은 필름 두께, 구성 및 광학 특성에 대한 자세한 정보를 제공하기 때문에 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 박막을 특성화하는 강력한 기술입니다. FILMETRICS F10-RT-UV에는 고감도 및 해상도로 박막의 UV 흡수 및 반사율을 정확하게 측정 할 수있는 고성능 UV 분광계가 장착되어 있습니다. UV 분광법 외에도 F10-RT-UV에는 실시간 모니터링 기능도 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 의 증착 및 에칭 프로세스를 실시간으로 추적할 수 있으며, 프로세스 매개변수에 대한 즉각적인 피드백을 제공하고 원하는 필름 특성을 달성할 수 있습니다. FILMETRICS F10-RT-UV의 실시간 모니터링 기능은 생산 프로세스를 최적화하고 반도체 제조의 결함을 최소화하는 데 필수적입니다. F10-RT-UV의 또 다른 중요한 측면은 웨이퍼 매핑 기능입니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에 걸친 필름 두께와 균일성 (unifority) 의 세부 맵을 생성할 수 있습니다. 이 지도를 분석함으로써, 사용자는 필름 증착 과정 (film deposition process) 의 변형과 결함을 식별 할 수 있으며, 웨이퍼의 전반적인 품질을 향상시키기 위해 필요한 조정을 할 수 있습니다. FILMETRICS F10-RT-UV는 자동 데이터 분석 및 보고 기능도 제공합니다. 이 장치는 많은 양의 측정 데이터를 빠르고 정확하게 처리할 수 있으며, '웨이퍼 (wafer)' 의 품질에 대한 상세한 보고서와 통찰력을 제공합니다. F10-RT-UV (Automated Data Analysis Feature) 의 F10-RT-UV (Automated Data Analysis Feature) 를 통해 시간을 절약하고 인적 오류의 위험을 줄여 사용자가 신뢰할 수 있는 데이터를 기반으로 정보화된 의사 결정을 내릴 수 있습니다. 또한 FILMETRICS F10-RT-UV 는 사용자 친화적 인 소프트웨어와 인터페이스로 설계되어, 운영자가 쉽게 측정, 데이터 분석, 보고서를 생성할 수 있도록 합니다. 이 시스템의 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 사용자는 측정 매개변수 (measurement parameters) 를 사용자정의하고, 측정 시퀀스를 설정하며, 측정 결과를 체계적이고, 사용자에게 친숙한 방식으로 볼 수 있습니다. 전반적으로 F10-RT-UV는 고급 UV 분광법 기능, 실시간 모니터링, 웨이퍼 매핑, 자동 데이터 분석, 사용자 친화적 소프트웨어 인터페이스를 제공하는 최첨단 wafer 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 강력한 자산은 "웨이퍼 (wafer) '의 품질과 일관성을 높이고 생산 프로세스를 최적화하려는 반도체 제조업체에 필수적이다.
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