판매용 중고 FARO Laser Tracker ION #9068339
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FARO 레이저 추적기 이온 (FARO Laser Tracker ION) 은 반도체 웨이퍼의 물리적 크기 및 특성에 대한 매우 정확하고 반복 가능한 측정을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고성능 레이저 추적 장치 (Laser Tracking Unit) 와 다양한 강력한 도량형 도구 (Metrology Tool) 를 결합하여 생산 환경에서 매우 정확한 분석 및 웨이퍼 측정이 가능합니다. Laser Tracker ION의 5 축 암은 빠른 neigbour 감지 및 완전 자동화 웨이퍼 측정이 가능합니다. 통합 레이저 스캐너 (Integrated Laser Scanner) 를 사용하면 웨이퍼를 빠르고 정확하게 스캐닝할 수 있으며, 기계의 에지 감지 (Edge Detection) 기능은 높은 정밀 도량형과 분석을 제공합니다. FARO 도구를 사용하면 웨이퍼의 직경과 두께를 정확하고 반복적으로 측정 할 수 있습니다. 고해상도 레이저를 사용하면 웨이퍼 이미지의 정확한 각도 측정 (angular measuration) 및 픽셀 해상도 (pixel resolution) 를 통해 다양한 방법으로 품질을 분석 할 수 있습니다. 또한, 에셋은 웨이퍼 (wafer) 표면에서 전기 매개변수와 결함을 감지하여 결함 분석을 허용할 수 있습니다. 이 모델은 또한 장치 상의 접촉 패드 정렬 (alignation of contact pad) 과 같은 정교한 형상 계산을 수행할 수 있으며, 제조 문제를 식별하기 위한 상세한 결함 분석을 제공합니다. 또한 사용자 정의 측정 프로그래밍 (custom measurement programming) 을 위해 내장 된 소프트웨어 응용 프로그램을 통해 숙련된 사용자는 장비 측정 기능을 필요에 맞게 완벽하게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, FARO Laser Tracker ION에는 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 구성 및 작업이 간편합니다. 이 시스템은 또한 다른 분석 시스템 (analysis system) 에 접속하여 운영 환경에서 웨이퍼를 측정, 분석할 수 있는 강력하고 포괄적인 도구를 제공합니다. 레이저 추적기 이온 (Laser Tracker ION) 은 FARO 레이저 추적 장치 시리즈에 추가된 최신 제품으로, 신뢰성이 높은 도량형 및 분석 기능을 제공합니다. 이 강력 한 기계 는 반도체 산업 에 이상적 이며, 생산 환경 에서 "웨이퍼 '를 빠르고 정확 하게 분석 할 수 있다.
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