판매용 중고 FARO 3D Platinum #9006174

FARO 3D Platinum은 반도체 웨이퍼의 정밀 측정 및 테스트를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. X 방향과 Y 방향 모두에서 정확한 측정과 Z 방향 깊이를 제공합니다. 고속 공기 베어링 스캐닝 (Air Bearing Scanning) 플랫폼을 기반으로하며 정확한 모션 제어를 위해 정밀 레이저 간섭계를 통합합니다. 레이저 간섭계는 3 개의 직교 방향과 가속, 감속 및 운동 방향으로 상대 운동을 측정합니다. 광학 도량형 시스템 (Optical Metrology System) 은 고급 초점 기술을 기반으로하며, 파퍼의 프로파일 및 형태, 높이, 거칠기 및 비 균일 성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 독보적인 광학 장치는 3D 측정을 통해 신뢰성, 반복성을 제공하지만, 스캐닝 범위가 큰 것은 모든 반도체 웨이퍼 (wafer) 크기뿐만 아니라 향후 반도체 트렌드를 수용할 수 있는 유연성도 제공합니다. 3D 플래티넘 머신 (Platinum Machine) 은 종합적인 구성 요소 테스트 및 검사 기능을 갖춘 업계 최고의 자동 도량형 소프트웨어 인터페이스와 통합됩니다. 여기에는 프로세스 매개변수 모니터링, 결함 분석, 고해상도 이미징, 자동 결함 분류, 고급 컴포넌트 피쳐의 3D 분석 등이 포함됩니다. 전체 툴, 하드웨어, 소프트웨어는 완벽한 인라인 (in-line) 프로세스로 통합되도록 설계되었습니다. 프로세스 시작 및/또는 리소그래피 후 웨이퍼 및 사후 CMP를 검사하기 전에 웨이퍼를 감지하고 거부 할 수 있습니다. 자동 도량형 측정 결과는 데이터 로깅 (data-logged) 및 인라인 프로세스 제어 (inline process control) 및 통계적 프로세스 제어 (statistical process control) 에 사용될 수 있습니다. FARO 3D Platinum 자산은 SEMI 1463 및 IEO 715와 같은 가장 엄격한 산업 표준의 요구 사항을 충족합니다. 견고한 컨트롤러와 높은 샘플링 속도를 통해 안정적인 성능과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 즉, 제조업체가 미션 크리티컬 사양의 요구를 충족하고 안전한 제조 환경에서 일관된 성능을 유지할 수 있도록 지원합니다.