판매용 중고 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9268808

EPIPLUS/ETAMAX Plato는 반도체 제조를위한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 깊이, 각도, 평면도 등을 포함한 장치 매개변수에 대한 고정밀 측정을 제공합니다. 신속 웨이퍼 수송 핸들러 (handler for rapid wafer transport) 와 자동 검사를위한 비전 유닛 (vision unit) 과 같은 통합 구성 요소도 있습니다. ETAMAX Plato는 200mm ~ 100mm의 광범위한 웨이퍼 및 부품 크기를 테스트 할 수있는 완전 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 자동 검사를위한 비전 도구뿐만 아니라 웨이퍼 전송 및 정렬을위한 자동 핸들러 (Handler) 모듈이 특징입니다. 핸들러 (Handler) 는 매거진 (개별 또는 스택) 에서 최대 10 개의 200mm 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있으며, 이를 조정하고 전송할 수 있습니다. 비전 (vision) 자산은 테스트 전에 웨이퍼에 결함 및 기타 기준이 있는지 검사하는 데 사용됩니다. EPIPLUS Plato에는 자동 컴포넌트 외에도 장치 매개 변수를 측정하기위한 ETAMAX 도량형 모델도 포함되어 있습니다. 장비는 고정밀 SI (Sampling Interferometers) 를 사용하여 정확한 장치 매개변수를 측정합니다. EPIPLUS 시스템은 웨이퍼 깊이, 각도, 편평 등과 같은 매개변수를 측정 할 때 더 많은 정확도를 허용합니다. 플라톤은 효율적이고 효과적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 유연하고 사용이 간편하여, 제조업체가 디바이스 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 기계는 또한 매우 신뢰할 수 있으며 정확하고 일관된 결과를 제공합니다. 전반적으로 EPIPLUS/ETAMAX Plato는 통합 자동화 구성 요소와 정밀 측정을 갖춘 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 반도체 제조에 필수적인 도구이며, 장치 매개변수를 안정적이고 효율적으로 측정할 수 있습니다.