판매용 중고 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9260679
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9260679
웨이퍼 크기: 2"-8"
빈티지: 2010
PL Mapping system, 2"-8"
X-Y Stage
Cassette loading
Flat zone finder
(2) Cassettes for 2"-8" wafer
Spectrometer:
Wavelength range: 420 nm
Hardware pixel resolution: 0.13 nm/pixel
Resolution:
0.5 mm for 2"
1 mm of 4"
2 mm for 8"
Thickness:
Measurement method: Optical interference by reflection
Accuracy / Reproducibility: 3% for GaN film
Photo Luminescence (PL):
Measurement items:
WP (Peak)
WD (Dominant)
Integrated and peak intensity
FWHM
Accuracy:
5% (Peak intensity / Integrated intensity)
<1 nm (Wp / FWHM)
Intensity measurement: High sensitive photo detector
(3) Pumping lasers: 266, 405, 532
Bowing measurement:
Reproducibility: ±5 um
Measuring range: 20 - 4000 um
Cap (2" Profile): <10 sec
Bowing mapping
Input voltage: 220 V
Current: 30 A
Compressed air: 0.2~0.4 MPa
2010 vintage.
EPIPLUS/ETAMAX Plato는 KLA Tencor Corporation에서 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 에서 발견된 반도체 장치를 검사하고 측정할 수 있도록 설계되었으며, 이러한 부품의 품질과 신뢰성을 보장합니다. 이 시스템은 다양한 고급 검사 (advanced inspection) 및 도량형 (metrology) 기술을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 측정, 프로파일, 검사하고, 이와 관련된 다양한 매개변수를 사용합니다. ETAMAX Plato 장치는 몇 가지 핵심 요소 (자동 웨이퍼 스테이지, 고급 옵틱 및 웨이퍼 분석을위한 온보드 도구) 로 구성됩니다. 자동 웨이퍼 (automated wafer) 단계는 광학 (optics) 아래에 웨이퍼를 정확하게 배치하는 기능으로, 분석을위한 웨이퍼의 중요한 이미지를 캡처합니다. 와퍼를 이미징, 스캐닝을 담당하는 고급 광학 (Advanced Optic) 은 도량형 요구사항과 검사 목표를 달성하기 위한 다양한 광학 (Optical) 기능으로 구성할 수 있습니다. EPIPLUS Plato 기계의 온보드 도구에는 결함 식별 프로세스를 자동화하는 첨단 최첨단 소프트웨어 (최첨단 소프트웨어) 가 포함됩니다. 이 소프트웨어는 노드, 공백, 마이크로 크랙 (microcracks) 및 기타 표면 이상과 같은 이미지 패턴을 기반으로 다양한 유형의 웨이퍼 결함을 식별할 수 있습니다. 또한 온보드 도구는 도량형 스캐너 및 비디오 스코프로 구성되며, 사용자는 CD (critical dimension) 측정, CD 기반 수율, 오버레이 측정 등과 같은 다양한 웨이퍼 매개 변수를 측정 할 수 있습니다. 플라톤 (Plato) 도구는 모듈식 (modular) 설계를 통해 고객의 요구에 맞게 다양한 도구와 구성 요소를 손쉽게 추가 또는 제거할 수 있습니다. 결과적으로, 자산은 주어진 웨이퍼 개발 프로세스 (wafer development process) 의 요구에 맞게 고도로 사용자 정의 될 수 있습니다. 또한 모듈식 설계는 모델 구성과 확장성 측면에서 광범위한 유연성을 제공합니다 (영문). EPIPLUS/ETAMAX Plato 장비는 고급 성능과 매우 높은 정확도로 유명합니다. '신뢰성 있고 반복 가능한' 측정 결과를 제공하는 것으로 입증되었으며, 이는 '오류' 를 줄이고 프로세스 수율을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 ETAMAX Plato는 KLA Tencor Corporation이 개발 한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 탁월한 설계 유연성, 고급 컴포넌트 (Advanced Component), 신뢰할 수 있는 결과 등으로 인해 웨이퍼 검사 및 도량형 프로세스를 선택할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다