판매용 중고 EPIPLUS / ETAMAX PL+ M100 #9000233

EPIPLUS/ETAMAX PL + M100은 고급 반도체 제작 응용 프로그램을 위한 최첨단 솔루션을 제공하는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 여기에는 표면 구조 특성, 깊이 및 기능의 높이, 깊이, 높이에서 심도, 전기장, 도핑 농도의 3 차원 전기 측정까지 광범위한 매개변수 세트를 측정 할 수있는 레이저 기반 광학 도량형 시스템 (Laser-based optical metrology system) 이 장착되어 있습니다. ETAMAX의 고유 한 8축 단위를 사용하면 접촉없는 (Contactless) 피쳐 측정을 수행할 수 있으며, 이는 기존 도구를 사용하여 얻을 수 없습니다. 고해상도 광학 헤드는 기능 크기, 프로파일 측정 측면에서 탁월한 정확도를 제공합니다. 기계는 또한 선 너비, 임계 치수, 오버레이 오류, 측벽 각도 (sidewall angle) 와 같은 다양한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 자동 초점, 문자 인식을위한 OCR (Optical Character Recognition), 광학 스캔 반전 (Optical Scan Reversal) 등 다양한 강력한 기능을 제공하는 통합 소프트웨어 제품군을 사용하여 중요한 장치와 추적 선을 쉽게 측정 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 고정밀도 측정을 수행하여 수율을 높이기 위해 임계 치수 (critical dimension), 정렬 (alignment) 및 오버레이 (overlay) 오류를 정확하게 제어할 수 있습니다. ETAMAX PL + M100 (ETAMAX PL + M100) 은 사용이 간편하며, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 운영자는 훈련되지 않은 직원 사이에서도 자산을 신속하게 운영 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 프로브 (wafer probing), 결함 식별 (defect identification), 사진 저항 두께 측정 등 다양한 응용 프로그램을 수행하는 데 사용할 수 있습니다. 결론적으로 EPIPLUS PL + M100은 반도체 응용 프로그램을 위해 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 독보적인 8축 모델과 통합 소프트웨어 제품군을 통해 전문 테스트 및 도량형 (metrology) 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다. 모든 기술 수준의 사용자가 장비를 사용할 수 있도록 합니다 (다용도 및 사용 편의성).