판매용 중고 DNS / DAINIPPON VM-8200 #9374928

DNS/DAINIPPON VM-8200은 상업용 IC 및 MEMS 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 비접촉 측정, 나노미터 스케일 이미징, 다차원 전기 테스트, 광학 검사 등 다양한 도량형 및 테스트 기능을 갖추고 있습니다. DNS VM-8200에는 근적외선, 다중 파장 및 편광 이미징을 갖춘 향상된 광학 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 이미징 기능을 통해 DAINIPPON VM 8200은 정확도가 높은 다양한 웨이퍼 (wafer) 표면에서 가장 광범위한 텍스처, 형태 및 광학 기능을 캡처할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 광범위한 전기 테스트 기능이 포함되어 있으며, 대규모 회로와 소형 회로를 모두 테스트할 수 있으며, 여러 전류 (current) 및 전압 (voltage) 측정 방법을 포함하고 있습니다. 이러한 전기 테스트 기능은 다양한 어플리케이션에 대한 3D 전압 매핑 및 전류 밀도 매핑과 결합됩니다. VM 8200은 또한 비접촉 오버레이 (non-contact overlay) 측정을 통해 매우 정밀한 패턴 정렬 및 오버레이 배치 확인을 가능하게 합니다. 기계는 8nm 정도의 작은 오버레이 변형을 측정 할 수 있으며, 비교 분석을 위해 웨이퍼 표면의 3D 이미지를 제공합니다. 또한 VM-8200의 나노미터 스케일 이미징 기능을 통해 횡단면 및 하향식 뷰에서 3nm 이하에서 최대 50äm 사이의 상세한 SEM 이미지를 캡처할 수 있습니다. 테스트에서 최고의 정확성과 반복성을 보장하기 위해 DAINIPPON VM-8200에는 데이터 수집, 처리, 분석을위한 특수 알고리즘 및 프로세스가 포함되어 있습니다. 또한, 이 툴은 프레임 내의 웨이퍼 (wafer) 를 식별하고 구별하는 데 도움이 되는 일련의 자동 웨이퍼 (automated wafer) 식별 기능을 제공합니다. 이 웨이퍼 식별 (wafer identification) 방법을 사용하면 수동 입력 없이 보다 빠르고 정확한 측정을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON VM 8200은 상업용 IC 및 MEMS 구성을위한 일체형 테스트 및 도량형 자산입니다. 정확도가 높은 2D 및 3D 이미징, 전기 테스트 및 비접촉 오버레이 측정이 가능합니다. 또한, 자동화된 웨이퍼 식별 기능 및 프로세스 최적화 알고리즘은 사용자에게 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다.