판매용 중고 DNS / DAINIPPON VM-2010 #9158763
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DNS/DAINIPPON VM-2010은 반도체 웨이퍼 측정의 정확성과 정확성을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 즉, 보다 높은 처리량과 향상된 정확도를 보장하는 고속 (high-speed) 패턴화 측정을 위한 완벽하게 자동화된 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 여러 개의 개인 동맹 교정 모듈로 구성되며, 각각 특정 측정 작업 (도량형, 다이 픽업, 웨이퍼 전송) 이 수행됩니다. 완전 자동화 된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 특성화에 레이저 빔을 사용하여 3D (3D) 스캐닝 프로브를 통해 측정을 수행합니다. 그런 다음, 측정되는 샘플을 다이 픽업 (die-pickup) 모듈로 이동하여 다이 (dies) 를 집어 웨이퍼 캐리어에 부착합니다. 마지막으로, 처리되는 샘플을 도량형 단위로 전송합니다. 이 도량형 장치 (metrology unit) 는 평탄성과 결함에 대한 웨이퍼의 신호 정보를 평가합니다. 이 모든 모듈은 운영자 편의를 위해 완벽하게 자동화되었으며, 정확한 반복성과 재현성을 달성할 수 있습니다. 이 장비는 매우 민첩하고 견고하게 설계되어, 사용자가 변화하는 조건에 빠르게 적응할 수 있도록 합니다 (영문). 시스템의 모듈성을 통해 마이크로 리토그래피 검사 (micro-lithography inspection) 또는 결함 검사 (defect inspection) 와 같은 다양한 측정을 쉽게 수용 할 수 있습니다. 이 도구는 제품의 무결성 (integrity) 을 방해하지 않고 신속하고 신뢰할 수있는 측정을 제공 할 수 있습니다. 즉, 민감하거나 왜곡되기 쉬운 것을 포함하여 다양한 기판의 측정에 사용될 수 있습니다. 이 장치는 Windows XP에서 실행되며 사용자 친화적 그래픽 인터페이스, 여러 가지 측정을위한 펌프 필라멘트 모드 (pump-filament mode), 다양한 인터페이스를 통한 다양한 어플리케이션 기능, 빠른 소프트웨어 업그레이드, 연결성 등의 광범위한 기능을 제공합니다. 이 기계는 반도체 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology needs) 을 포괄적이고 유연한 옵션을 제공합니다. 또한, 전용 "Active Motivation Technology (Active Motivation Technology)" 덕분에 데이터를 스캔 및 바이너리화하는 동안 소음을 적극적으로 줄여주는 높은 공구 해상도와 정확도를 제공할 수 있습니다. 이 기술은 또한 프로빙 민감도 및 반복성 (repeatability) 을 증가시켜 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램에서 매우 높은 수율을 달성 할 수 있습니다. 전반적으로 DNS VM-2010 은 매우 정교하고 정밀 지향적인 툴로서 다양한 유형의 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 요구 사항을 충족하는 일체형 자동 솔루션을 제공합니다. 고급 3D 스캐닝 Probe 및 Active Motivation Technology를 통해 뛰어난 반복성으로 빠르고 정밀도 높은 측정이 가능하며, 다양한 테스트 및 도량형 프로세스를 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.
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