판매용 중고 DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-8200 #9384147

DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-8200 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 고급 기술 플랫폼입니다. 전용 비접촉 광검사 (non-contact optical inspection) 방법을 사용하여 제조 프로세스 전, 중, 후에 결함을 검사합니다. 시스템의 핵심에는 최첨단 2D 및 3D 비접촉 광학 검사 장치가 있습니다. 표면에서 모양, 불규칙성, 결함, 산란광을 정확하게 측정하고 즉석 결함 검출 (on-the-fly defect detection) 을 위해 실시간으로 분석 할 수 있습니다. 또한 다양한 병렬 처리 (parallelization) 기능을 제공하여 고객 요구에 맞게 샘플링 및 검사율을 최적화할 수 있습니다. 이 기계는 또한 독자적인 N- 빔 조명 도구 (N-beam illumination tool) 와 같은 여러 가지 고급 기술을 사용하여 결함을 감지하기 위해 광범위한 회절 및 산란 모양을 제공합니다. ONCIS (Advanced Non-Contact Optical Inspection Systems) 는 이러한 결함을 실시간으로 감지하는 데 사용되며 샘플 파기가 거의 없습니다. 에셋은 또한 좌표 측정 및 도량형 (metrology) 기술을 사용하여 결함 및 불규칙성에 대한 샘플의 표면 프로파일을 분석합니다. 3D 비접촉 광학 검사 및 도량형 모델을 사용하여 높이, 깊이, 너비, 경사, 서피스 프로파일 등의 지형 및 3 차원 특성을 측정 할 수도 있습니다. 이를 통해 물리적 샘플을 처리할 필요가 없으며 시간과 비용을 절감하는 데 도움이 되는 신속한 1 차 테스트 (first-article testing) 및 유사한 점검이 가능합니다. 또한 DNS WS-8200에는 물리적 매개변수를 측정하고 결함 현지화를 지원하는 자동화된 레이저 스캐닝 현미경이 장착되어 있습니다. 이를 통해 검사 처리량 최적화, 허위 (false positive) 감소, 분석 및 진단에 사용할 수있는 보다 정확한 측정이 가능합니다. SCREEN WS-8200은 또한 결함 이미지를 실시간으로 분석하는 다양한 소프트웨어 도구를 제공합니다. 그런 다음, 이 데이터를 사용하여 결함 감소 및 라인 항복 개선을 위한 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 운영 중 장치 특성을 모니터링하는 포괄적인 비디오 및 이미지 도구 (video and image tools) 를 제공하여 품질 관리 (quality control) 결정을 조기에 내릴 수 있습니다. 전반적으로, WS-8200 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제작에 사용되는 고급 기술 플랫폼으로, 광범위한 비접촉 광학 검사 및 도량형 기술과 소프트웨어 어레이 어레이 (Array of Software Tools) 를 결합하여 라인 생산성 향상, 허위 양성 감소, 물리적 샘플 처리 필요성 최소화.