판매용 중고 DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-8200 #293634118

ID: 293634118
빈티지: 1996
System 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-8200은 웨이퍼 표면 및 깊이 특성의 고정밀 측정을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 두께, 플랫, 서피스 삼각 측량, 서피스 텍스처 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. DNS WS-8200은 빠른 속도로 작동하여 최대 300mm 크기의 웨이퍼에 대한 정확한 결과를 제공합니다. 이 장치는 측정 중 웨이퍼의 위치를 정확하게 유지하는 고속 (high-speed) 자동 단계 (automated stage) 를 포함한 여러 컴포넌트로 구성됩니다. "스테이지 '는" 카세트' 로부터 기구 의 광학 "헤아드 '에 이르는" 웨이퍼' 를 추출 하여 위치 를 정하고 측정 후 에 다시 "카세트 '로 되돌릴 수 있다. 이 기계는 또한 높은 정밀도 드라이브 도구 (high-accuracy drive tool) 를 장착하여 측정 중에 웨이퍼의 위치를 미세하게 제어 할 수 있습니다. 에셋은 표면 윤곽선을 높은 정확도로 측정하는 깊은 스캔 (Deep Scanning) 을 포함하여 다양한 스캐닝 속도 (Scanning Speed) 로 작동 할 수 있습니다. 또한, 모델은 서피스 텍스처와 평탄도를 모두 측정 할 수도 있습니다. SCREEN WS-8200은 광학 및 비광학 측정 전략을 모두 사용합니다. 광학 측정 기술은 크게 간섭법, 현미경 및 주사 전자 현미경과 같은 기술로 구성되며, 비 광학 기술은 압전 트랜스듀서 (piezoelectric transducer) 또는 정전 비접촉 센서를 사용하여 웨이퍼를 측정합니다. DAINIPPON WS-8200에는 고정밀 컨트롤러가 장착되어 있으며 여러 가지 프로그래밍 기능을 제공합니다. 이 장비에는 측정 매개변수의 디스플레이 모드 (display mode) 가 여러 개 있는 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 가 포함되어 있으므로 쉽게 모니터링하고 결과를 평가할 수 있습니다. WS-8200에는 여러 웨이퍼의 표면 프로파일 (surface profile) 에서 작은 차이를 측정하는 기능을 포함하여 여러 분석 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 이 시스템에는 서피스 텍스처를 추출, 분석할 수 있는 프로그램과 서피스 평탄도 측정 (measing surface flatness) 이 포함되어 있습니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-8200은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치로, 짧은 시간 내에 정확한 결과를 제공합니다. 이 기계는 마이크로 일렉트로닉스 (Microelectronics) 산업의 응용 분야에 적합하며 가혹한 산업 환경에서 작동하도록 설계되었습니다.
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