판매용 중고 DNS / DAINIPPON LAW-820 #9091952

DNS / DAINIPPON LAW-820
ID: 9091952
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
RTA System, 6" 1993 vintage.
DNS/DAINIPPON LAW-820은 고급 반도체 장치의 생산 테스트 및 특성을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고정밀 자동 매핑 기능을 통해 다이 (die), 기판 (substrate) 및 픽업 (pick-up) 신호를 정확하게 측정하고 평가할 수 있습니다. DNS LAW-820은 다이 라인, 패턴, 구조 및 높은 정확도와 정밀도로 웨이퍼의 다른 기능을 측정 할 수 있습니다. 최신 측정 기술을 활용하여 웨이퍼의 포인트 바이 포인트 (point-by-point) 맵을 생성합니다. 이 맵은 결함 및/또는 구조적 불규칙성을 계산하고 그래픽으로 표시합니다. 이 시스템에는 최대 생산 처리량을 위한 통합 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Handling Unit) 가 장착되어 있으며 2 "~ 8" 범위의 최대 11 개의 웨이퍼 크기를 한 번에 처리 할 수 있습니다. DAINIPPON LAW-820은 또한 XY 및 Z 축 모두에서 정확한 웨이퍼 정렬을위한 웨이퍼 온도 보상 정렬 기계를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 가장 좁은 선 으로부터 가장 넓은 선 에 이르는 "웨이퍼 '의 특징 을 정확 하게 측정 할 수 있다. 진동 프리 (vibration-free) 및 진동-흡수 역학 (vibration-absorb mechanics) 을 모두 추가하면 장치의 가장 섬세한 영역에서 도구가 매우 작은 결함을 포착 할 수 있습니다. 또한 LAW-820 은 고정밀 매핑 기능과 더불어 빠른 처리 속도를 위해 설계되었습니다. 이것은 측정 및 제어를 위해 고급 자동화 소프트웨어를 통합함으로써 달성됩니다. 자산은 단일 패스 스캔에서 시간당 최대 4,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 이는 웨이퍼를 적시에, 효율적으로 분석 할 수 있습니다. 요약하면, DNS/DAINIPPON LAW-820은 강력하고 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 첨단 매핑 기술을 통해 다이, 기판, 픽업 신호를 정확하게 측정 및 평가할 수 있습니다. 온도 보상 정렬 장치 (Temperated Alignment Equipment) 는 웨이퍼 피쳐의 정확한 측정과 빠른 웨이퍼 분석을 위한 자동 처리량 (Automated Throughput) 기능을 갖추고 있습니다. 다양한 기능을 갖춘 DNS LAW-820 은 고급 반도체 디바이스를 테스트하고 특성화하는 데 이상적인 시스템입니다.
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