판매용 중고 DNS / DAINIPPON CV-8000 #9269466

DNS/DAINIPPON CV-8000 은 웨이퍼 검사 및 프로세스 제어를 빠르고, 정확하고, 비용 효율적으로 수행할 수 있도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 고해상도 웨이퍼 검사 도구, 도량형 도구, 로컬 패턴을위한 zone plate 리소그래피 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 고해상도 검사 도구를 사용하면 서피스 피쳐, 오염 물질, 결함 등 다양한 매개변수를 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. 도량형 도구는 정확한 도량형 측정을 위해 다양한 광 구성 요소가있는 통합 데이터 획득 모듈을 제공합니다. 또한, 이 장치는 특정 애플리케이션에 대한 매개변수를 조정하려는 사용자에게 높은 수준의 유연성을 제공합니다 (영문). 웨이퍼 검사 도구 (wafer inspection tool) 에는 0.5 m의 높은 정확도와 해상도를 허용하는 독특한 광학 기계가 있습니다. 또한, 이 도구는 자동 교정을 제공하여 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 통합 검사 프로세스는 웨이퍼 성능에 영향을 미치는 입자, 오염 물질, 공백, 표면 기능을 감지 할 수있는 CCD 기반 이미징 도구를 사용합니다. 또한, 보다 직관적인 분석을 위해 강력한 자동 패턴 인식 기능을 제공합니다. 도량형 도구에는 레이저 간섭계 (laser interferometer), 자동 수축 (autocolimation) 및 접촉 표면 측정 기술이 포함 된 통합 데이터 획득 모듈이 있습니다. 또한 SDE (small dynamic enhancement), TIS (temporal imaging scanning), PSD (power spectral density) 및 AS-SDOCT (angle-sensitive spectral domain optical coherence tomography) 와 같은 광범위한 도량형 기술을 지원합니다. 또한, 자산은 광범위한 애플리케이션에 대해 Contact 및 Non-Contact Scanning 옵션을 모두 지원합니다. 마지막으로 DNS CV-8000 에는 로컬 패턴화를 위한 고유한 zone plate lithography 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 고급 소프트웨어를 사용하면 기판을 미세 패턴화 (micro-patterning) 할 수 있으므로 사용자가 정확도가 높은 고유하고 복잡한 모양을 만들 수 있습니다. 또한, 리소그래피 소프트웨어는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 및 수동 패턴 편집 기능을 제공하여 패턴화 프로세스를 성공적으로 실행합니다. 결론적으로, DAINIPPON CV-8000은 빠르고, 정확하며, 비용 효율적인 웨이퍼 검사 및 프로세스 제어를 위해 설계된 다목적 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 장비는 고해상도 웨이퍼 검사 도구, 데이터 획득 모듈이 통합된 도량형 도구, 로컬 패턴을위한 독특한 리소그래피 (lithography) 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 반도체 생산에서 효과적이고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 강력한 도구입니다.