판매용 중고 DEKTAK 3ST #293649566

ID: 293649566
Surface profiler.
DEKTAK 3ST는 반도체 웨이퍼의 차원, 전기 및 기계적 특성을 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA-Tencor가 제작 한 3ST (Contact Stylus Technology) 는 컨택트 스타일러스 기술을 사용하여 웨이퍼의 표면 구조를 정확하게 측정하고 손상을 방지합니다. DEKTAK 3ST는 고급 스타일러스 기술을 통해 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 레이저 유도 접촉 스타일러스 프로브는 웨이퍼 서피스 포인트별 (wafer surface point-by-point) 에 연락하여 웨이퍼 프로파일을 정확하게 측정합니다. 스타일러스 내의 고급 광학 메커니즘은 측정하는 동안 스키딩 (skidding) 을 줄이고, 정확한 측정을 제공하고, 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호합니다. 3ST는 다양한 웨이퍼 특성에 대한 자세한 분석을 제공합니다. 예를 들어, 단계 높이, 평면도, 원치 않는 입자 및 재료의 존재 등 도량형 피쳐를 측정 할 수 있습니다. 또한 시트 저항성 및 시트 저항성과 같은 전기 특성을 측정합니다. 마지막으로, 필름 두께와 Young의 탄성 계수를 포함한 기계적 측정을 수행합니다. DEKTAK 3ST는 직관적인 그래픽 인터페이스와 키보드를 갖춘 사용자 친화적 인 시스템입니다. 내장형 고해상도 모니터 (High-Resolution Monitor) 는 측정 및 테스트 결과를 표시하며, 사용자 정의 경보를 설정하여 이상이 감지된 시점을 나타낼 수 있습니다. 또한, 3ST 데이터는 이더넷 및 FireWire 연결을 통해 쉽게 익스포트하여 추가 분석을 할 수 있습니다. DEKTAK 3ST는 매우 신뢰할 수있는 단위입니다. 즉, 오랜 기간 동안 정확성과 정확성을 유지하도록 설계되었으며, 포괄적인 무상수리가 적용됩니다 (영문). 3ST는 또한 매우 비용 효율적입니다. 스타일러스 (stylus) 기술을 사용하여, 고가의 장비 대여를 제거하며, 장기적인 신뢰성으로 인한 비용 절감 효과를 제공합니다. 요약하면, DEKTAK 3ST는 반도체 웨이퍼의 차원, 전기 및 기계적 특성을 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 고급 레이저 유도 컨택트 스타일러스 기술을 활용하면 매우 정확하고 반복 할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스, 직관적인 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 및 익스포트 (Export) 기능을 통해 반도체 테스트 및 도량형을 선택할 수 있습니다.
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