판매용 중고 CYBEROPTICS EX-43Q #9079803
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ID: 9079803
Wafer mapping sensor
Dual wide beam
Optimum detecting distance: 1.5"
Maximum detecting range: 1.4" - 1.6"
Voltage: 9 24 V DC
Current consumption: 130 mA, 200 mA max
Light source:
(2) 850 nm Diode lasers
(2) 0.6 mW max, 0.77 mW max
Laser class: Class 1 (CDRH)
Detectable objects: Transparent, opaque and mirrored surfaced objects
Laser spot size: 10 mm x 0.05 mm
Working angle: ±16°
Response time: 400 us max
Minimum pulse width: 5 msec
Indicator:
Laser power (Red)
Signal out (Green)
Control output: MOSFET Open drain, low true, 80 mA max at 24 V DC
Connections: 16", (4) Conductor cables
Temperature limits:
Operating: 0° to 40°C
Storage: -30° to 55°C.
CYBEROPTICS EX-43Q는 비접촉 광학 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 직경이 최대 3 인치 인 웨이퍼에 대해 매우 정확한 차원 및 지형 프로파일링을 제공합니다. 이 시스템은 고급 프로파일링 알고리즘과 고출력 레이저 다이오드 (Laser Diode) 를 결합하여 빠르고 고해상도 측정을 제공합니다. EX-43Q는 안정적이고 견고하므로 자동 검사 및 수동 테스트에 이상적입니다. 이 장치는 웨이퍼에서 15mm 스탠드 오프가있는 FBG (Fiber Bragg Grating) 광학 헤드와 초점 깊이를 추가하기 위해 90mm 초점 길이를 사용합니다. 이 광학 헤드는 470mm x 470mm 작업 공간, 200mm 리프트 범위 및 정렬 정확도 0.1äm의 전동 XY 스테이지에 연결됩니다. 이러한 기능을 결합하면 강력하고 일관된 웨이퍼 (wafer) 측정과 높은 수준의 반복성을 제공합니다. 이 기계는 0.05 ~ 3.0mm의 다양한 웨이퍼 평탄도에 대해 최대 1/2 (FWHM) 에서 3äm의 정밀도를 제공하는 반면, 스캔 속도 5.25m/초 및 최대 가속도 1.3m/s2를 표시하여 빠르게 실행되도록 설계되었습니다. 또한 CYBEROPTICS EX-43Q는 JPG 및 TIFF 파일과 같은 그래픽 형식으로 저장된 이미지 데이터와 함께 데이터 보기 및 녹화를 제공합니다. 이 툴을 사용하려면 최소한의 유지 보수 또는 개입 (Intervention) 이 필요하므로 운영 환경 확장에 적합합니다. EX-43Q (EX-43Q) 는 구성 가능하며 여러 설정에서 사용할 수 있으며, 폐쇄 루프 서보 (closed loop) 서보 (servo) 전동 검사 헤드 및 자동 웨이퍼 캡처 액세서리와 같은 추가 옵션을 사용할 수 있습니다. 전반적으로 CYBEROPTICS EX-43Q 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산은 효율적이고 비용 효율적인 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 에어서비스 (Air-Assisted) 비접촉 (Non-Contact) 설계는 샘플에 대한 마모와 눈물을 줄이며, 확장성과 구성성은 다양한 자동/수동 테스트 시나리오에 이상적인 선택입니다.
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