판매용 중고 COHERENT LaserCam-HR #293609595

COHERENT LaserCam-HR
ID: 293609595
Beam measuring system P/N: 1068156.
COHERENT LaserCam-HR (COHERENT LaserCam-HR) 은 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로 웨이퍼 및 기타 얇은 물체를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 제품은 레이저와 디지털 이미징을 결합하여 고해상도 이미징 및 측정 기능을 제공합니다. 구체적으로이 시스템은 조명 및 대형 펠티어 냉각 인터 라인 전송 CCD (charge-coupled device) 이미징을 위해 수동적으로 안정화 된 Q 전환 레이저를 사용합니다. LaserCam-HR 장치의 고급 아키텍처는 1/2 미크론 (1/2 미크론) 정도의 해상도로 미크론 수준의 정확성과 반복 성을 달성 할 수 있습니다. 이는 오늘날의 높은 정확도 웨이퍼 측정에 이상적입니다. 높은 정확도의 레이저 보조 이미징 자체는 기계의 고속 아연 도금 장치 (High-Speed Galvanometer Scanner) 덕분에 실시간 자동 방식으로 수행됩니다. 스캐너 (scanner) 는 프로그래밍 된 패턴으로 웨이퍼 표면을 가로 질러 레이저 빔을 이동하여 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 이미징 프로세스는 서피스 프로파일 및 피쳐 측정, 플럭스 도량형 (flux metrology), 이미징 결함 검사 등 다양한 고급 기능을 지원합니다. 이 도구에는 성능을 더욱 향상시키는 다양한 고급 (advanced) 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 웨이퍼 추적, 정확한 빔 파워 제어, 고급 샘플 측정 알고리즘 및 재 측정 기능이 포함됩니다. 이 광범위한 기능을 통해 자산은 다양한 웨이퍼 (wafer) 기판에서 정확하고 자동화된 측정에 특히 적합합니다. COHERENT LaserCam-HR 모델은 또한 인상적인 포스트 프로세싱 기능 목록을 자랑합니다. 여기에는 스크립트 가능한 측정 템플릿 라이브러리, 광범위한 통계 패키지, 통합 보고서 생성 장비 등이 포함됩니다. 또한, 이 시스템은 업계 표준 인터페이스를 통해 기존 시스템 및 워크플로에 쉽게 통합될 수 있습니다. 전반적으로 LaserCam-HR (LaserCam-HR) 은 웨이퍼 및 기타 얇은 물체를 측정하기위한 뛰어난 성능, 정확성 및 신뢰할 수있는 단위입니다. 고급 기능, 고해상도 이미징 기능, 포스트 프로세싱 (post-processing) 옵션이 결합되어 오늘날의 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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