판매용 중고 CDE RESMAP 178 #9366696
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CDE RESMAP 178은 반도체 산업의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 개발 된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 단일 통합 정밀 현미경에서 고도로 정교한 레이저 프로파일로미터 (laser profilometer) 에 이르기까지 다양한 도량형 도구를 제공하며, 전체 웨이퍼 면에서 높이, 표면, 결함 정보를 측정 할 수 있습니다. CDE RESMAP178 (CDE RESMAP178) 은 처리량을 극대화하고 웨이퍼 표면의 가장 복잡한 세부 사항까지 캡처하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 다양한 웨이퍼 테스트, 이미징 및 현미경 도구가 포함됩니다. 통합 맞춤형 Z 렌즈 현미경은 전체 웨이퍼 표면의 x200 확대에서 고해상도 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 현미경에는 다양한 각도 스캔, 결함 높이, 기울기 측정, 다양한 자동 초점 기능 등 다양한 기능을 제공하는 광학 필터 (optical filter) 와 레이저 (laser) 가 장착되어 있습니다. 또한이 기계는 사용자 정의 설계 된 레이저 프로파일로미터 및 반음계 초점 현미경을 제공합니다. 최대 800 배까지 확대/축소할 수 있는 레이저 프로파일로미터 (Laser profilometer) 를 사용하면 웨이퍼 높이, 서피스 및 결함 정보를 측정, 표시, 저장할 수 있습니다. 반음계 초점 현미경은 결함 부위의 3 차원 이미지를 캡처 할 수 있으며, 표면 거칠기를 측정하는 데 사용됩니다. 이 도구에는 금속 오염 및 기타 결함을 빠르고 안정적으로 식별 할 수있는 야금 유체 스캐너 (Metallurgical Fluid Scanner) 가 추가로 장착되어 있습니다. 또한이 자산은 스캐닝 어쿠스틱 현미경 (Scanning Acoustic Microscope), 스캐닝 이온 현미경 (Scanning Ion Microscope) 및 에너지 분산 스캔 (Energy Dispersive Scans) 과 같은 다양한 강력한 현미경 도구를 제공하여 토폴로지 및 전기 특성과 같은 다양한 속성을 측정하고 정량화 할 수 있습니다. 전반적으로 RESMAP 178은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 필수 도구입니다. 이 모델은 고도의 고급 (HA) 기능과 더불어 높은 처리량, 유연성, 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. "웨이퍼 '표면 과 기타 결함 있는 정보 들 을 종합 히 볼 수 있는 능력 으로, 그 장비 는" 반도체' 제조업자 들 을 위한 가치 있는 자원 이 된다.
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