판매용 중고 CANON IUC Meter for MPA 500 #293626985

MPA 500 용 CANON IUC Meter는 정확성과 정밀도로 반도체 웨이퍼의 전체 모양 및 전기 특성을 측정하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것 은 "와퍼 '를" 나노미터' 수준 까지 상상 할 수 있으며 결함 이나 이상 을 측정 할 수 있는 폭 넓은 특징 을 가지고 있다. 이 시스템에는 고해상도, 광학 현미경 및 CLM (confocal laser microscopy) 이 장착되어 있어 웨이퍼의 단결정 구조를 이미징 및 분석합니다. 현미경은 피쳐 면을 감지하고 다양한 범위 (예: 릿지 모서리, 플랫 서피스) 를 분석할 수 있습니다. 이 장치는 전기 결함 분석에도 사용될 수 있으며, 이는 웨이퍼에 대한 전류 전압 (I-V) 특성 곡선의 측정을 사용합니다. 이를 통해 전압 (breakdown voltage), 전하 주입 (charge injection) 과 같은 매개변수를 측정할 수 있기 때문에 전기 결함의 감지 및 특성화가 가능합니다. MPA 500에는 WFT (Integrated Wafer Film Thickness) 머신도 있으며, 이를 통해 웨이퍼에 절연 필름의 두께를 측정 할 수 있습니다. 레이저 캡처 WFT 도구는 나노미터, 미크론, 밀의 두께를 측정하는 등 다양한 측정 기능을 갖추고 있습니다. 에셋에는 로봇 웨이퍼 (Robotic Wafer) 취급 모델도 함께 제공되며, 이를 통해 장비 안팎으로 여러 웨이퍼를 자동으로 적재 및 언로드할 수 있습니다. "로봇 '장치 는" 웨이퍼' 를 한 역 에서 다음 역 으로 이동 시키는 두 개 의 컨베이어 벨트 로 이루어져 있다. 이 장치에는 HyTools-DW (HyTools-DW) 라는 고급 소프트웨어가 있으며, 이는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 자동 데이터 캡처 및 분석 소프트웨어입니다. 이를 통해 테스트 프로세스 (Testing Process) 를 보다 효과적으로 제어할 수 있으며, 측정 보고서를 손쉽게 생성할 수 있습니다. 마지막으로 MPA 500 용 IUC Meter 에는 자동 초점 (auto focus) 및 자동 평면 (auto planarization) 과 같은 여러 가지 고급 기능이 포함되어 있어 웨이퍼 분석 시 안정성과 정확성이 향상됩니다. 이 기계에는 심층 설명서 (In-Depth Manual) 도 포함되어 있습니다. 이 설명서는 도구의 기능과 기능에 대한 포괄적인 개요를 제공합니다. 전반적으로 MPA 500 용 CANON IUC Meter는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 다양한 혁신적인 기능뿐만 아니라 높은 수준의 정확성과 정확도를 제공합니다. 광범위한 기능과 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 통해 모든 유형의 반도체 웨이퍼를 특성화하고 분석하는 데 필수적인 도구입니다.