판매용 중고 CANDELA OSA 5100 #293604704

CANDELA OSA 5100 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 장비 (metrology equipment) 는 웨이퍼 (wafer) 와 같은 반도체 재료의 특성을 측정하고 분석하기위한 고가용성 및 다용도 시스템입니다. 분광학, 회절, 반사, 간섭 등 다양한 광학 기술을 사용하여 웨이퍼의 두께, 균일성, 질감 등의 특성을 측정합니다. OSA 5100 은 높은 수치 조리개 (NA) 를 갖춘 대형 스캔 헤드 (scan head) 를 갖추고 있어 정확도가 높은 광범위한 웨이퍼 크기를 측정할 수 있습니다. 최소 계단 크기가 0.75 nm 인 최대 횡단 속도 (100 µm/s) 를 제공하는 동력 스테이지가 있으므로 고정밀 측정이 가능합니다. 또한 CANDELA OSA 5100에는 고해상도 카메라와 6 인치 모니터가 장착되어 있으며, 이를 통해 측정 중에 웨이퍼 표면을 정확하게 관찰 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 에는 여러 개 의 "포트 '가 있어서" 프로브 헤드', "그라인딩 헤드 '," 레이저 소스' 와 같은 외부 장치 를 통합 하여 기계 에 더 많은 기능 을 제공 할 수 있다. OSA 5100에는 측정 제어, 모니터링 및 분석을위한 고급 소프트웨어도 있습니다. 두께, 깊이, 반사도, 서피스 지형, 응력, 레이어 두께, 서피스 거칠기 및 기타 웨이퍼 매개변수와 같은 여러 가지 사전 구성된 측정 모드를 제공합니다. 또한, 이 도구를 사용하여 측정 매개변수를 사용자정의할 수 있으며, 다른 피쳐 유형을 정확하게 분석할 수 있습니다. 마지막으로, 에셋은 PDF 및 DICOM과 같은 여러 데이터 내보내기 형식을 허용합니다. 모든 측정 및 데이터는 CANDELA OSA 5100 의 내부 데이터베이스에 저장되어 장기 저장 (장기 저장) 을 수행할 수 있으므로 쉽게 액세스할 수 있고, 검토할 수 있습니다. 이러한 OSA 5100 기능은 웨이퍼 테스트 및 도량형의 안정적이고 효율적인 모델입니다.