판매용 중고 CAMECA Lexfab 300 #9151709
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ID: 9151709
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Shallow probe metrology system, 12"
EFEM
(2) Load ports
Display unit
Side and blower panel
Light curtain frame
2010 vintage.
CAMECA Lexfab 300은 다양한 웨이퍼 패턴, 구조 및 재료를 분석하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템의 직관적인 소프트웨어 가이드 워크플로우를 통해 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 을 빠르고 정확하며 쉽게 수행할 수 있습니다. CAMECA LEXFAB300은 기본 도량형에서 나노 미터 척도까지 다양한 wafer 분석 기능을 갖춘 확장 가능한 고성능 장치입니다. 이 기계는 광학 이미징, X-Ray 이미징, 어둡고 밝은 필드 현미경, 차등 간섭 대비 현미경, 메인보드 스캔 기능 등 와퍼를 모니터링하고 측정하는 다양한 도구를 갖추고 있습니다. 이 도구는 크기가 150 나노 미터까지 작은 기능을 감지 할 수 있습니다. LEXFAB-300의 주요 기능은 4축 정렬 에셋입니다. 모델의 동력 정렬 테이블 (Motorized Alignment Table) 은 뷰 각도를 정확하게 설정하고 조정하여 다른 방향의 정확한 이미지 분석 및 웨이퍼 테스트가 가능합니다. 이러한 유연성 (Flexibility) 을 통해 다양한 각도에서 다양한 칩과 웨이퍼를 사용하여 다양한 실험을 수행할 수 있습니다. Lexfab 300 은 사용자 친화적으로 설계된 제품으로, 장비 운영을 신속하게 익힐 수 있습니다. 또한 디스크 이미지를 쉽게 분석할 수 있는 다양한 소프트웨어 패키지 및 분석 툴 (예: 결함 인식, 기능 감지, 특정 IC 에 대한 특수 대책) 이 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 CAMECA LEXFAB-300은 웨이퍼를 모니터링, 검사하고, 중요한 생산 도량형 데이터를 제공하는 데 적합한 솔루션입니다. 안전성· 유지보수 측면에서, 이 장치는 긴급 스위치 (Emergency Switch), 자동 안전 차단 기능 (Automatic Safety Shutoff Function) 등 인력의 보호를 보장하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한, CAMECA는 LEXFAB300 기계가 최대 (peak) 상태로 유지되고 지속적으로 정확한 데이터를 제공하기 위해 일련의 유지 관리 프로그램을 마련했습니다. CAMECA Lexfab 300은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 신뢰할 수 있고 사용하기 쉬운 도구를 찾는 반도체 및 디스플레이 산업의 주요 제조업체에 의해 널리 채택되었습니다. 종합적인 기능, 다양한 테스트 기능 덕분에, CAMECA LEXFAB300 은 웨이퍼의 정확성과 신뢰성을 보장하고자 하는 기업에 적합합니다.
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