판매용 중고 BRUKER-AXS Dektak XT #9282889
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ID: 9282889
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2012
Profilometer, 6"
Operating system: Windows 7
Resolution:
Minimum X resolution: 0.017 microns per point
Full scale ranges: 6.5 microns, 65.5 microns, 524 microns, 1mm
Temperature: Operating range, 20°-25°C (68°-77°F)
Relative humidity: Less than 80% (Non-condensing)
Power demand: 1000 VA maximum
Power connection: Standard outlet
Warm-up time: 15 minutes for maximum stability
Vibration: < 70 µg from 1 to 100 Hz on floor with flat noise spectrum
Vacuum (For optional vacuum chuck):
457 - 635 mm Hg (18 - 25")
0.61 - .85 BAR minimum constant vacuum for system with one fitting for 4 mm (5/32") OD tubing
Clean, dry Air (For optional vibration isolation pads):
Max: 275kPa (40psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing
Regulator adjustable to 70 - 140 kPa (10-20 psi)
Clean, Dry Air (For optional floor model vibration isolation table):
345 kPa (50psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing
Acoustics: < 60 dB(A) across frequency spectrum
Input voltage: 100 - 240 VAC, 50/60 Hz
2012 vintage.
BRUKER-AXS Dektak XT는 실리콘 웨이퍼의 자동 품질 제어 및 통계 프로세스 제어에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. BRUKER-AXS DEKTAKXT는 반도체 업계에서 고정밀 웨이퍼를 효율적으로 제조하는 데 필수적인 도구입니다. 데크 탁 XT (Dektak XT) 의 고급 기술은 웨이퍼 코팅 단면 프로파일, 지형 및 표면 거칠음을 빠르고 정확하게 측정합니다. DEKTAKXT는 웨이퍼 표면에 대한 자세한 정보를 얻기 위해 설계된 다기능 도량형 도구입니다. 자동 시스템은 매우 높은 정확도, 비접촉, 수직 스캐닝, 간섭없는 프로파일링 장치를 사용하여 베어 (bare) 및 코팅 (coated) 웨이퍼의 지형, 횡단면 프로파일 및 서피스 거칠기를 측정합니다. 지형 판독값은 특별한 감도, 선택적 인터 록 (interlock) 및 샘플 데이터 로거 (sample data logger) 를 가진 컨투어 기술 (Contour Technology) 광학 프로파일로미터를 사용합니다. BRUKER-AXS Dektak XT에는 고급 광전자 구성 요소가 장착되어 있으며, 정밀도는 0.1nm에서 10äm 사이입니다. BRUKER-AXS DEKTAKXT (BRUKER-AXS DEKTAKXT) 는 표면과 웨이퍼 가장자리 근처에서 웨이퍼 코팅 및 재료 증착을 획득하고 정량화하여 품질 보증을 제공합니다. Dektak XT는 또한 샘플 파괴의 필요성을 제거하여 생산 비용을 감소시키는 NDT (non-destructive testing) 프로세스를 구현합니다. DEKTAKXT는 또한 높은 수준의 자동화를 제공합니다. 로봇 로드/언로드 머신 (robotic load/unload machine) 이 장착되어 있으며 실시간 데이터 획득, 데이터 아카이빙 및 전체 범위의 플로팅 옵션을 갖추고 있습니다. 따라서 사용자가 이전에 테스트한 Wafer 의 데이터를 쉽게 저장, 액세스, 비교하여 신속하게 분석할 수 있습니다. BRUKER-AXS Dektak XT는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 완벽한 솔루션입니다. 이 제품은 정확한 웨이퍼 테스트, 품질 보증, 비용 효율성을 보장하므로 반도체 업계에 이상적인 선택입니다.
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