판매용 중고 ATI WIND AWIS-1200 #293654341
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ATI WIND AWIS-1200은 최대 300mm 크기의 웨이퍼에서 반도체 구조, 패턴 및 결함을 인식하고 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 결함을 감지하고 모든 종류의 환경 조건에서 부품의 크기, 형태, 구조 (size, shape, structure) 를 측정하는 데 검증된 신뢰성을 가지고 있습니다. AWIS- 1200에는 12Mega Pixel CMOS 센서, RealTime Digital Signal Processing, 고속 이미지 획득, 디지털 이미지 신호 처리 및 3 단계 지능형 검사 시스템이 있습니다. 12 메가 픽셀 CMOS 센서 (12 Mega Pixel CMOS Sensor) 는 고해상도 이미지를 가능하게 하며, 빠른 속도로 웨이퍼에 상세한 패턴을 캡처합니다. RealTime Digital Signal Processing을 사용하면 광학 소음, 밴딩 및 기타 종류의 수차를 줄일 수 있습니다. 이것은 다양한 신호 처리 기능이 고도로 통합된 라인 (Line) 과 픽셀 버퍼 (Pixel Buffer) 를 가진 단일 칩에 통합되기 때문에 가능합니다. Digital Image Signal Processing 이점에는 자동 게인 및 자동 셔터 제어, 픽셀 응답 비 균일성 수정 및 감마 교정이 포함됩니다. 이미지 품질을 향상시키고 검사 시간을 크게 단축합니다. AWIS-1200 은 정확도와 속도가 높은 서브 미크론 (sub-micron) 패턴의 폭과 길이를 측정 할 수 있습니다. 이것은 현미경, 간섭계, 타원계 및 분광계로 구성된 3 단계 검사 장치에 의해 수행됩니다. 현미경은 일반적인 표면 평가, 고정밀 피쳐를 측정하기위한 간섭계, 표면 지형 및 박막 측정을위한 타원계, 재료의 광학 분석을위한 분광계 (Spectrometer) 에 사용됩니다. 이렇게 하면 부품 에 대한 정확 한 평가 를 받을 수 있으며, 기계 가 "와퍼 '의 결함 유형 (예: 구덩이, 참호, 단계, 기타 결함) 을 식별 할 수 있다. AWIS-1200 은 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스와, 측정 제어 및 분석을 위한 첨단 소프트웨어로, 소프트웨어는 포함 된 현미경, 간섭계, 분광계 및 타원계를 위해 특별히 설계되었습니다. 고급 (advanced) 사용자와 초보자 (novice user) 모두에 적합하며, 가장 복잡한 구조의 특성을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 자동화된 데이터 수집/처리 기능을 통해 측정의 효율성과 정확성을 높일 수 있습니다 (영문). 전반적으로 WIND AWIS-1200은 우수한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구이며, 최대 300mm 크기의 웨이퍼에서 고밀도 분석 및 결함 감지를 제공합니다. 첨단 기능과 유연성을 통해 다양한 어플리케이션 (어플리케이션) 을 선택할 수 있습니다.
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