판매용 중고 ASML YieldStar #9399584

ASML YieldStar (ASML YieldStar) 는 다양한 제작 단계에서 웨이퍼 특성을 측정하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 의 작고 정확한 측정을 제공하며, 생산 과정에서 중요한 분석에 사용됩니다. 시스템의 핵심 구성 요소에는 최고급 웨이퍼 현미경, 높은 정확도 포지셔닝 장치, 고급 이미지 처리 소프트웨어 등이 있습니다. 현미경은 오프 축, 밝은 필드 및 어두운 필드 조명을 사용하여 웨이퍼의 자세한 이미지를 제공합니다. 위치 지정기는 3 차원 공간에서 주어진 상대 위치를 정확하게 유지할 수 있습니다. 이를 통해 여러 깊이와 횡단면을 통해 측정할 수 있습니다. 웨이퍼를 테스트하기 위해 YieldStar (YieldStar) 도구를 프로그래밍하여 샘플을 정확하게 스캔하고 다양한 기능을 측정할 수 있습니다. 여기에는 선 너비, 에치 깊이, 밀도 수준의 중요한 치수 크기가 포함될 수 있습니다. 에셋은 또한 Contact Overlap, Continuity 및 Yield를 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 스크래치, 구덩이와 같은 서피스 결함을 감지하고 서피스 평탄도를 측정 할 수 있습니다. 또한 슬릿, 슬롯 및 공동을 감지 할 수 있습니다. 웨이퍼에서 수집 한 데이터는 추가 분석을 위해 소프트웨어로 공급됩니다. 그런 다음, 소프트웨어는 기능 크기 및 모양 분석, 통계 평가, 차트에 다양한 계산 알고리즘을 사용합니다. 또한 ASML YieldStar 모델은 제품 추세 분석 및 결함 감지 기능을 제공 할 수 있습니다. YieldStar는 오늘날의 반도체 패브에서 귀중한 도구입니다. 고정밀도 도량형 (high-precision metrology) 과 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 소프트웨어의 조합은 복잡한 패턴을 검사하고 작은 결함을 감지하는 데 이상적입니다. 이는 현대 반도체 제작에 사용되는 항상 줄어드는 웨이퍼 치수 (wafer dimensions) 와 밀도 (denser pattern) 의 생산에 필수적입니다. 생산의 품질과 정확성을 향상시킴으로써, ASML YieldStar 장비는 칩 제조의 현재와 미래에 필수적인 톱니바퀴입니다.