판매용 중고 ASML YieldStar T-200C #293667079

ID: 293667079
빈티지: 2013
Overlay measurement system 2013 vintage.
ASML YieldStar T-200C는 반도체 애플리케이션을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 정확한 공간 해상도 및 이미지 품질을 제공합니다. die size, shape, thickness, resistivity 및 composition과 같은 중요한 웨이퍼 매개변수의 정확한 측정을 제공합니다. 이 도구는 MEMS, 고급 패키징 (advanced packaging) 구성 요소 등 다양한 웨이퍼 구조를 측정할 수 있는 다용도 도구입니다. YieldStar T-200C에는 CCD (line/pixel-oriented array of charge coupled device) 검출기와 고급 광학 디자인을 사용하는 고급 스캔 모드 이미징 시스템이 장착되어 있습니다. 이 광학 설계는 웨이퍼 측정의 해상도와 정확도를 극대화합니다. 이 장치는 필요한 응답 데이터 유형에 따라 4K-9K 해상도를 사용할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 테스트 스테이션도 있습니다. 이 스테이션은 edge placement, photolithography, layer thickness, resistivity 등의 테스트 결과에서 데이터를 검색하고 분석하는 데 사용됩니다. 사용자는 테스트 사이트 (Test Site) 및 프로세스 설정 (Process Setting) 의 수를 제어하여 공구를 다른 유형의 웨이퍼에 맞게 조정할 수 있습니다. ASML YieldStar T-200C는 완전한 자동 작동 및 자동 조정 절차를 제공하여 최고의 정확도를 제공합니다. Windows 기반의 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 테스트 결과를 손쉽게 조정, 측정, 분석할 수 있습니다. 에셋에는 이미지 안정화 기능 (image stabilization function) 도 포함되어 있는데, 이 기능은 웨이퍼의 진동 또는 열 팽창 및 수축으로 인한 이미지 왜곡을 최소화합니다. 이 모델은 산업 생산 환경을 위해 설계되었으며, 최적의 성능을 보장하는 광범위한 환경 모니터링 (Environmental Monitoring) 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 내장 장치 진단, 환경 테스트, 자동 조정 기능 등을 포함하는 고급 품질 보증 (Advanced Quality Assurance) 제품군이 장착되어 있습니다. 컴퓨터에는 데이터 로깅 도구 (data logging tool) 가 장착되어 있어 모든 테스트 결과와 데이터 (traceability) 를 추적할 수 있습니다. 최대의 정확성을 보장하기 위해, 자산에는 정확한 테스트 결과를 보장하는 테스트 알고리즘이 내장되어 있습니다. 이 모델은 메뉴 기반 소프트웨어 설정 (menu-driven software setup) 을 특징으로 하며, 사용자는 데이터 획득 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 생산 효율성을 높이기 위해 사전 정의된 테스트 절차가있는 내장 라이브러리를 갖추고 있습니다.
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