판매용 중고 ASML Yieldstar S200B #9245628

ASML Yieldstar S200B는 웨이퍼 매개변수를 측정하고 석판 제작을위한 테스트 패턴을 평가하기 위해 설계된 고정밀 도량형 장비입니다. 사용자는 CD (Critical Dimensions), LWR (Line Width Roughness), CO (Critical Orientation) 등 웨이퍼 제조 프로세스의 품질을 분석할 수 있습니다. 측정 장치에는 정확한 샘플 전송 및 정렬을 위한 1 단계 전송 로봇, 100x/10x/0.45 수치 조리개 목표를 가진 광학 헤드, 샘플 캡처 및 자동 초점 제어를 위한 XYZ 스테이지, 고급 화질을 제공하는 고해상도 LCD 모니터 등이 있습니다. YieldStar (YieldStar) 는 또한 조정 가능한 조명과 정확한 기판 척을 특징으로하여 테스트 된 웨이퍼의 반사를 제거합니다. 이 기계의 이미지 처리 기능에는 컬러 이미징, 디지털 회색 음영 이미징, 이미지 비교, 기본 패턴 인식 및 CD 도량형이 포함됩니다. 또한 다양한 패턴 분석 도구 및 고급 기능 (예: 패턴 검색, 고해상도 기능 추출 및 분석) 을 제공합니다. Yieldstar S200B 도구는 자동 정렬 및 측정 기술의 조합을 통해 안정적이고 정확한 분석을 제공합니다. 이러한 기능은 nano-bump metrology, single device isolation/characterization 및 microvias/interconnects 분석과 같은 응용 분야에서 특히 유용합니다. 이 에셋은 또한 전체 측정/분석 프로세스를 완벽하게 제어하는 소프트웨어 제품군 (Software Suite) 을 갖추고 있으며, 테스트 결과를 빠르고 편리하게 처리하고 보고서를 생성할 수 있습니다. 다재다능한 기능을 갖춘 YieldStar는 반도체 업계의 다양한 응용 프로그램 (예: 웨이퍼 특성 변동 분석, 결함 감지 및 특성 분석, 제조 프로세스 개발 및 최적화) 에 이상적입니다.