판매용 중고 ASML YieldStar S100 #293621217

ASML YieldStar S100은 결함을 감지하고 중요한 치수를 측정하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 자동 광검사 시스템은 패턴을 인식하고 여러 유형의 기판을 처리 할 수 있습니다. 고정밀 3 축 선형 모터 스테이지와 고급 고성능 이미징 장치를 갖추고 있습니다. ASML YIELDSTAR S-100은 최대 200mm 크기의 웨이퍼에서 50nm까지 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 여러 기판 유형을 테스트하고 선 너비, 간격, 트렌치 깊이, 돌출 등 다양한 피쳐 크기를 측정할 수 있습니다. 이 기계는 분광학, UV 조명, 윤곽선 인식, 이미지 상관 관계, 입자 분석 등 다양한 고급 이미징 및 패턴 인식 기술을 갖추고 있습니다. YieldStar S100은 매우 자동화되어 단일 테스트 실행에서 웨이퍼 (wafer) 샘플을 일괄 처리할 수 있습니다. 안정적 인 장거리 "카메라 '와 통합 된" 패턴' 인식 도구 를 갖춘 자동 초점 장치 와 같은 여러 가지 광학 측정 장치 를 갖추고 있다. 이 자산은 결함을 신속하고 정확하게 감지하여 수율과 생산능률을 높일 수 있도록 설계되었습니다 (영문). 데이터 분석 측면에서 YIELDSTAR S-100은 여러 가지 강력한 기능을 제공합니다. 임베디드 소프트웨어 라이브러리 (Embedded Software Library) 가 장착되어 있어 결함 이미지를 분석하고 결함 발생과 특성을 감지할 수 있다. 또한, 결함의 근본 원인을 식별할 수 있는 고급 패턴 인식 (pattern recognition) 기술이 있습니다. 이 강력한 모델은 패턴 개발 추세도 파악할 수 있으며, 품질 관리 (Quality Control) 및 프로세스 최적화 (Process Optimization) 에 사용될 수 있습니다. 전반적으로 ASML YieldStar S100 (ASML YieldStar S100) 은 결함을 감지하고 중요한 치수를 정확하고 측정 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 자동화되어 강력한 데이터 분석 툴 (data analysis tools) 을 제공하며, 보다 높은 수율과 보다 효율적인 생산을 원하는 반도체 제조업체에 적합한 솔루션입니다.