판매용 중고 ASM Dragon 2300 #9294446

ASM Dragon 2300 Wafer Testing and Metrology Equipment는 고급 수율 중심 프로세스 제어를 만들기 위해 특별히 설계된 다용도 및 강력한 플랫폼입니다. 이 시스템은 자동 광학 검사 (AOI), 저항 도량형, 유전체 정전 도량형 및 3D 프로파일링 도량형 기술의 조합을 사용하여 상세한 웨이퍼 정보를 신속하게 캡처 및 분석합니다. 이 장치는 고급 전동 웨이퍼 스테이지 (Motorized Wafer Stage) 를 갖추고 있어 빠르고 정확한 웨이퍼 정렬을 통해 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. AOI on Dragon 2300은 brightfield 이미징 기술을 사용하여 누락 또는 손상 된 패턴, 오염, 박막 결함 및 반바지와 같은 결함을 감지합니다. 모서리 검출 (edge detection) 과 같은 기능은 다른 방법으로 감지하기 어려운 미세한 결함을 감지하는 데 도움이 될 수 있습니다. 저항성 도량형 (Resistivity Metrology) 은 패턴의 저항을 사용하여 웨이퍼의 전면 측면 서피스에 대한 정보를 얻습니다. 유전체 정전 도량형은 IC 정전량을 빠르게 측정 할 수 있으며, 주어진 회로에 존재할 수있는 반바지를 식별하는 데 도움이됩니다. 이 기계는 3D 프로파일 로메트리 도량형 (3D profilometry metrology) 을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 지형을 기능 수준의 해상도 10nm로 특성화할 수 있습니다. 이는 미크론 (3 micron) 미만의 미세한 비 전도성 기능과 공백을 정확하게 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 이 도구에는 다양한 이미지 처리 도구 (영상 처리 도구) 가 포함되어 있어 이미지 분석을 쉽게 수행할 수 있으며, 신속한 항복 (항복) 및 효과 연구 (effectiveness study) 를 수행할 수 있습니다. 이러한 도구를 사용하면 다양한 수율 매개변수를 탐색할 수 있으며, 포괄적인 데이터 분석을 위해 컨투어 맵을 생성할 수 있습니다. ASM Dragon 2300은 웨이퍼 결합, CMP (chemical-mechanical polishing), 솔더 범프, 범프 높이 도량형 등과 같은 다른 많은 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 이 자산은 다양한 프로세스 제어 요구를 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 드래곤 2300 (Dragon 2300) 은 가장 엄격한 반복 성능 및 정확성 요구 사항을 충족하도록 설계되어 있어 운영 환경에 이상적인 제품입니다.