판매용 중고 ASM Dragon 2300 #9293646

ASM Dragon 2300
ID: 9293646
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
PECVD System for barrier, 12" 2003 vintage.
ASM Dragon 2300은 높은 정확도, 정밀도, 자동화 및 프로세스 유연성을 결합한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 옵티컬 툴 (Optical Tool), 폭넓은 영역 단계 (Exposable Area Stage) 및 강력한 소프트웨어 아키텍처를 결합하여 최고의 수준의 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공합니다. 광학 도구는 더블 패스 (double-pass) 광 설계를 활용하여 장치에 높은 수준의 정확도와 해상도를 제공합니다. 최대 46mm 의 시야와 최대 290mm 의 확장성을 갖춘 드래곤 2300 (Dragon 2300) 은 모든 크기의 장치를 설계, 검사, 측정할 수 있는 탁월한 유연성을 제공합니다. 3D 샘플 재구성, 비파괴 테스트용 병렬/별도 전력 측정, 자동 Die-Fail 검사 등 다양한 비전 (vision) 기능을 제공합니다. ASM Dragon 2300 의 포괄적인 소프트웨어 패키지는 모듈식, 확장형, 개방형 아키텍처를 제공합니다. 오픈 플랫폼 (open platform) 으로서, 이 시스템은 광범위한 모델 및 기술 라이브러리를 지원하므로, 특정 프로세스 요구사항에 맞게 공구를 구성할 수 있습니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 옵션 및 테스트 및 검사 설계를 지원합니다. 이 소프트웨어는 측정 및 테스트 절차를 올바르게 실행하여 프로세스 제어 (process control) 와 정밀도를 최대화할 수 있는 기능을 제공합니다. Dragon 2300은 또한 고객에게 광범위한 자동 도량형 옵션을 제공합니다. 자동화된 진공 생성 및 내장형 벡터 클리닝 (vector cleaning) 과 함께 자동화된 광학 검사와 함께 비파괴 테스트가 제공됩니다. 또한 wafer dicing 및 handling, wafer 매핑, 수동 자동 샘플 스테이지 스왑 등 다양한 옵션 기능을 지원합니다. 마지막으로, ASM Dragon 2300 인프라는 여러 샘플과 많은 것을 동시에 처리 할 수 있습니다. 고정밀 선형 모터는 빠른 샘플 전송을 허용하는 반면, 고급 진공 자산 (advanced vacuum asset) 은 안정된 샘플 처리 및 자동 도량형을 위해 정확하고 제어 된 공기 전달을 제공합니다. 고급 옵틱 (Optic) 과 소프트웨어 (Software) 기능을 대규모의 폭넓은 영역 스테이지와 결합한 Dragon 2300은 여러 업계에서 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 업계 최고의 정확성과 해상도를 제공합니다. 유연성이 뛰어나고 포괄적인 이 모델은 모든 규모의 장치를 설계, 검사, 측정할 수 있는 플랫폼을 제공합니다 (영문).
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