판매용 중고 ASM Dragon 2300 #9290805

ID: 9290805
웨이퍼 크기: 12"
PECVD System, 12" 2006 vintage.
ASM Dragon 2300 장비는 석판화 및 검사 프로세스를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 박막 트랜지스터, SOI (silicon on insulator) 및 OLED (organic light-emitting diode) 를 포함한 다양한 반도체 관련 재료를 테스트하는 데 적합한 고급 광학 및 스캔 기능을 제공합니다. 이 시스템은 여러 웨이퍼를 동시에 비동기식 도량형 (asynchronous metrology) 할 수 있으므로 웨이퍼 테스트 시간을 대폭 줄일 수 있습니다. 드래곤 2300 (Dragon 2300) 은 2 단계 비디오 현미경과 통합 된 나노 정밀 회전 헤드가있는 독특한 이중 축 스캔 장치를 갖추고 있습니다. 이 구성은 웨이퍼 서피스를 빠르고 일관성 있게 샘플링하도록 하며, 웨이퍼 (wafer) 의 지형을 검사하는 데 필요한 서브 마이크론 (sub-micron) 수준의 측정을 허용합니다. 또한 이 장치에는 고해상도 이미징 센서와 소프트웨어가 장착되어 있어 텍스처 (texture), 거칠기 (roughness), 표면 상승 (surface elevation) 과 같은 광학 기능을 특징으로합니다. ASM Dragon 2300의 또 다른 유용한 기능은 강력한 임베디드 소프트웨어입니다. 여기에는 컴퓨터와의 사용자 상호 작용을 단순화하는 GUI (Graphic User Interface) 와 웨이퍼 서피스의 실시간 평가를 위한 자동화된 이미지 처리 루틴 (Image Processing Routine) 이 포함됩니다. 또한 wafer 결함과 같은 다른 매개변수로 측정을 확장할 수 있습니다. 또한 Dragon 2300은 간격 (gap), 너비 (width), 깊이 (depth) 와 같은 임계 치수 매개변수를 극도로 정밀하게 측정하기 위한 통합 검사 솔루션을 제공합니다. 이 기능을 통해 프로세스 제어 및 최적화 (optimization) 를 통해 웨이퍼 (wafer) 생산 비용을 절감하고 수율 품질을 향상시킬 수 있습니다. ASM Dragon 2300은 또한 치수 도량형 외에도 결함 분석 및 검토를 수행 할 수있는 옵션을 제공합니다. 이 작업은 고해상도 이미징 기능과 자동화된 소프트웨어 루틴을 사용하여 수행할 수 있습니다. 드래곤 2300 도구 (Dragon 2300 Tool) 에는 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 검사하고 분석할 수 있는 완전 자동화된 자산도 포함되어 있습니다. 여기에는 데이터 로깅 기능, 부품 로컬라이제이션 (Part Localization), 프로세스 매개변수를 제어하여 일관성 및 반복 가능성을 높일 수 있는 기능이 포함됩니다. 요약하자면, ASM Dragon 2300 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 석판화 및 웨이퍼 검사를위한 고급 최첨단 도구를 제공합니다. 이 기능을 통해 모든 결함에 대해 빠르고 정확한 웨이퍼 (wafer) 를 평가하여 복잡한 반도체 장치의 효율적인 제조를 보장합니다.
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