판매용 중고 ASM Dragon 2300 #293821578

ASM Dragon 2300
ID: 293821578
빈티지: 2005
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) systems (4) Plasma‑enhanced Tetraethyl Orthosilicate (PTEOS) systems 2005 vintage.
ASM 드래곤 2300 (ASM Dragon 2300) 은 완전히 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 가장 까다로운 생산 테스트 및 측정 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 웨이퍼 레벨 검사/테스트 및 측정 챔버로 구성되며, 웨이퍼를 식별하고 분류하는 3 차원 자동 시력 장치 (Automatic Vision Unit) 가 있습니다. 완전 밀폐된 에어컨 챔버 하우스는 밝고 흰색 환경이며, 동일한 균일 한 조명 및 입자가없는 공기 순환으로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 인라인 (in-line) 자동 테스트, 측정 및 평가와 결합된 정교한 광학 기술을 사용하여 접촉없이 완전한 웨이퍼 영역의 정확한 검사, 분석, 도량형을 제공합니다. 3D 시각적 검사는 서피스 이미징 기술을 사용하여 서피스 지형, 형상, 텍스처 및 속도를 측정합니다. 또한 500nm 스케일까지 결함을 감지 할 수 있으며, 탁월한 품질과 정확도를 제공합니다. 또한, 이 도구는 전동 단계, 검사 후크, 로봇 로드/언로드, 웨이퍼 정렬 및 위치를 모니터링하고 조정하는 특수 컨트롤러 등의 고급 자동화 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이를 통해 에셋은 빠르고, 자동으로 고품질 이미지에 가장 적합한 위치를 찾을 수 있습니다. 이 모델은 웨퍼 (wafer) 샘플의 검사, 측정 및 특성화에 의해 프로세스 수익률과 품질 보증을 증가시키는 데 도움을 주도록 설계되었습니다 (1 초 안에 높은 정밀도). 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 기능은 높은 수율과 제품 품질 제어를 위해 정확하고 반복 가능한 측정값을 보장합니다. 이 장비는 매우 유연하며, 단순 결함 검출 (Simple Defect Detection) 에서 복잡한 3D 이미징 및 분석에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 맞게 신속하게 구성할 수 있습니다. 또한, 결함 및 재료 특성 자동 분류를위한 고급 소프트웨어 알고리즘 (Advanced Software Algorithm) 이 장착되어 있어 제조 업계를 위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다.
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