판매용 중고 APPLIED PRECISION / RUDOLPH WaferWorx #9250466
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APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx (APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx) 는 고급 웨이퍼 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하는 안정적인 결과를 제공하도록 설계된 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 및 MEMS 생산에 사용되는 웨이퍼의 전기, 온도, 기계, 광학 및 물리적 특성과 같은 광범위한 매개변수를 측정합니다. 직관적 인 사용자 경험과 빠른 결과를 제공하는 클래스의 가장 진보 된 도량형 단위 (metrology unit) 입니다. RUDOLPH WaferWorx 머신은 2 개의 병렬 작업 단계 (생산 허용 된 웨이퍼 테스트 및 측정) 와 그 이후의 결과 분석 (analysis) 을 사용합니다. 이 도구를 사용하면 구조 결함, 임계 치수, 범프 높이, 서피스 평면도, 산화물 두께, 기판 온도, 전기 특성 등의 사용자정의 측정을 실시간으로 모니터링하고 검토할 수 있습니다. 즉, 자산의 자동화 기능이 내장되어 있어 데이터 수집과 분석 속도를 높일 수 있습니다 (영문). APPLIED PRECISION WaferWorx 모델은 다른 측정 시스템의 조합을 사용하여 도량형 정보를 정확하게 얻습니다. 웨이퍼 (Wafer) 는 광학 및 기계 기기로 스캔하여 평면 및 임계 치수와 같은 표면 피쳐를 측정 할 수 있습니다. 열 영상 (thermal imaging) 은 또한 극한 온도에 노출 될 때 웨이퍼의 열 행동에 대한 통찰력을 얻기 위해 사용됩니다. 또한, 광범위한 전기 및 비접촉식 장치를 사용하여 DC 및 AC 저항과 같은 전기 특성을 측정합니다. 마지막으로, 웨이퍼가 구조적으로 건전한지 확인하기 위해 음향 및 기계 측정이 수행됩니다. 고급 분석 (Advanced Analytics) 및 데이터 마이닝 (Data Mining) 기능을 통해 사용자는 도량형 데이터의 추세 또는 이상을 신속하게 파악할 수 있습니다. WaferWorx 는 Wafer 의 품질과 성능에 대해 매우 상세한 Report 를 제공합니다. 또한 고급 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능을 제공하여 데이터를 시각화하고 차트나 그래프를 자동으로 생성합니다. APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx 장비는 기술 기능 외에도 사용자에게 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 고급 마법사를 사용하면 테스트 실행, 테스트 프로파일 사용자 지정, 데이터 관리 등을 신속하게 수행할 수 있습니다. 포괄적인 데이터 관리 기능을 통해 테스트 데이터를 손쉽게 저장, 익스포트, 조작할 수 있습니다. 루돌프 웨이퍼 워스 (RUDOLPH WaferWorx) 는 고급 웨이퍼 제작에 대한 까다로운 테스트 및 도량형 요구 사항을 충족하는 업계 최고의 기술입니다. 강력한 분석, 강력한 데이터 수집 및 포괄적인 보고 기능을 제공합니다. 종합적인 기능 설정과 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 APPLIED PRECISION WaferWorx (어플리케이션 PRECISION WaferWorx) 는 품질을 극대화하고 순환 정확도를 향상시키려는 운영자에게 이상적인 선택입니다.
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