판매용 중고 APPLIED PRECISION / RUDOLPH WaferWorx #9248266
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ID: 9248266
Probing process analysis system
P/N: 53-450000-001
GENMARK Robot and prealigner
OLYMPUS MX80-F Inspection microscope
Objectives: 5x, 10x.
APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx는 일관된 고품질 웨이퍼 제작 프로세스를 보장하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체와 집적회로 업계에서 다양한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 분석 (metrology analysis) 요구를 위한 다양한 솔루션을 제공합니다. RUDOLPH WaferWorx 장치는 웨이퍼 및 복잡한 구조의 다양한 표면 및 높이 특성을 측정 할 수 있습니다. X 선 반사, 산란, 광학 및 전자 현미경, 프로빙 기술 등 다양한 기능을 제공합니다. 이러한 기술을 사용하면 전압, 저항성 및 표면 형태와 같은 매개변수의 정확한 특성화가 가능합니다. APPLIED PRECISION WaferWorx (응용 PRECISION WaferWorx) 를 사용하면 모든 웨이퍼의 모양, 프로파일 및 텍스처를 높은 정확도로 결정할 수 있습니다. 또한 "와퍼 '위 의" 범프', 가시, 구덩이 와 같은 기능 을 측정 할 수 있는데, 이것 은 제작 과정 에서 필수적 이다. 이 기계에는 자동 웨이퍼 베드 틸트 측정, 표면 지형 측정, 3 차원 구조 이미징 용 모듈이 포함됩니다. 또한 자동 초점 도구 (auto-focus tool) 가 장착되어 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 측정을 보장합니다. 에셋은 레이저 빔 편향 (laser beam deflection) 도 사용하여 정확한 스캔 및 영상을 허용합니다. 또한 고유한 IFAT (Interactive Focus Alignment Tool) 알고리즘을 사용할 수 있으므로 특정 테스트 및 측정 요구 사항에 따라 다른 매개변수를 설정할 수 있습니다. 이 모델은 또한 안전한 데이터 전송 및 저장을 위해 다중 사용자 통신 프로토콜을 지원합니다. 여러 소프트웨어 애플리케이션을 사용하여 작동할 수 있으며, 업계 표준 원격 액세스를 지원합니다. WaferWorx 장비는 설치와 사용이 간편합니다. 여기에는 웨이퍼 스테이지, 프로세서, 모니터, 레이저 빔 편향 등의 여러 하드웨어 구성 요소가 포함됩니다. 또한, 이 시스템에는 웨이퍼 데이터를 저장 및 분석하는 기능이 있는 모니터링 모듈이 포함되어 있습니다. 전반적으로 APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorx는 일관된 고품질 웨이퍼 제작 프로세스를 보장하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. X 선 반사 및 산란, 광학 및 전자 현미경, 자동 웨이퍼 베드 틸트 측정 등 다양한 기능을 제공하여 전압, 저항성, 표면 형태와 같은 매개변수의 정확한 특성을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 설치와 사용이 간편하며, 여러 소프트웨어 애플리케이션을 지원합니다.
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