판매용 중고 AMRAY / KLA / TENCOR AIT I #9401208

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I은 반도체 장치의 볼륨 생산 및 활성 모니터링을 위해 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 캐리어 처리, 웨이퍼 정렬, 샘플 배치, 도량형 데이터 획득 등 완전하게 자동화된 시퀀스를 사용하여 반도체 웨이퍼를 측정합니다. 이 장치에는 이중 관절 암이있는 도량형 스테이션, 샘플 캐리어 로더 및 언로더, 비전 머신, 스핀들 모터 (spindle motor) 가 포함되어 자동 표면 스캔을 수행합니다. 견고하고 반복 가능한 웨이퍼 척 (wafer chuck) 은 웨이퍼를 도량형 암과 정확하게 정렬하여 측정의 정확성과 반복 성을 보장합니다. 도량형 암 (metrology arm) 은 매우 정밀하고, 서브 미크론 (sub-micron) 운동이 가능하며, 극도의 정확도로 작은 장치와 충돌을 측정 할 수 있습니다. KLA AIT I에는 사용자 친화적 인 터치 스크린 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 있습니다. GUI 는 실시간 프로세스 피드백, 피드 포워드 (feed-forward) 기능, 통계 프로세스 제어 기능, 운영 및 프로세스 최적화를 위한 고급 데이터 분석 기능을 제공합니다. 또한 프로세스 개발 및 프로세스 엔지니어링을위한 포괄적인 프로세스 및 웨이퍼 엔지니어링 도구를 제공합니다. 이 도구는 서피스 지형, 전기 전도, 이미지 대비, 반사도 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 핫스팟 또는 장애, 모니터 필름 두께 및 매끄러움 (monitor film thickness and smoothness), 구조물의 거칠음 및 곡률 확인, 저항성 특성, 반도체 장치의 결함 평가 등 문제를 예측하고 해결하는 데 사용할 수 있습니다. TENCOR AIT I은 안정적인 데이터 캡처 및 분석을 제공하는 고급 하드웨어/소프트웨어 아키텍처로 구동됩니다. 혁신적인 웨이퍼 처리 자산 (wafer handling asset) 은 웨이퍼가 반복성과 정확성이 높은 스테이션에 로드되도록 합니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 GUI 및 통합 소프트웨어 툴을 통해 운영자는 시스템을 손쉽게 제어할 수 있고, 빠르고, 안정적으로 측정할 수 있습니다. 이 모델은 안정적이고 저렴하며, 대용량 반도체 제조에 적합합니다. 첨단 이미지 처리 및 머신 비전 (machine vision) 장비로 빠르고 정확한 도량형 데이터를 제공합니다. 통합 소프트웨어 툴은 프로세스 추세를 파악하고 제품 수율을 향상시키는 데 도움이 됩니다.