판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9200200
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ID: 9200200
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12"
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM은 웨이퍼 테스트 및 도량형에 사용되는 최첨단 시스템입니다. 고해상도 주사 전자 현미경 (SEM) 과 광범위한 자동 측정 및 이미징 기능을 결합합니다. 이를 통해 사용자는 임계 크기, 장치 지형, 다양한 전기 장치 특성 (electrical device properties) 과 같은 웨이퍼 (wafer) 및 다이 (die) 특성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 AMAT VeraSEM을 사용하면 도핑 프로파일을 신속하게 특성화하고 다양한 샘플에서 장치 성능의 벤치마킹을 수행할 수 있습니다. 강력한 디자인과 고급 기능을 갖춘 APPLIED MATERIALS VeraSEM은 반도체 장치 개발 및 프로세스 특성에 적합합니다. 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 성분의 세부 특성을 제공하며 나노 스케일 해상도 및 정확도로 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. 이를 통해 반도체 업계에서 소자 고장 분석 (device failure analysis) 및 항복 모니터링 (Yield Monitoring) 에 유용한 툴이 됩니다. VeraSEM의 고급 이미징 기능은 고해상도 SEM 및 전자 빔 유도 전류 (EBIC) 이미징을 사용하여 다이 투 다이 비교를 가능하게합니다. 이것은 추가 분석을 위해 장치 및 개별 트랜지스터 결함을 정확히 파악하는 데 도움이됩니다. 또한 VerSEM은 분광형 이미징 기능을 제공하여 화학적 분석을 나노 미터 스케일까지 수행 할 수 있습니다. 또한, 자동화된 측정 기능은 업계에서 2 위를 차지했습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM은 10 나노미터 해상도로 가장 작은 기능을 측정하여 최고의 웨이퍼 프로브 솔루션 중 하나입니다. 이 시스템은 또한 자동 패턴 인식 (Automated Pattern Recognition) 및 결함 분류 (Defect Classification) 를 포함한 고급 소프트웨어 제품군을 제공하여 많은 엔지니어와 연구원의 워크플로를 향상시킵니다. 전반적으로 AMAT VeraSEM은 매우 다양하고 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 세부적이고 정확한 결과를 제공합니다. 강력한 이미징 (imaging) 및 자동화된 측정 기능을 통해 반도체 소자 개발 및 프로세스 특성화에 유용한 툴이 됩니다. 고장 분석 (failure analysis), 벤치마킹 (benchmarking), 임계 치수 측정 (measuration of critical dimensions), 전기적 특성 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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