판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9130176

AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM은 자동 웨이퍼 테스트 및 측정 프로세스에서 높은 정확성과 반복 성을 허용하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 고정밀 스캐닝 전자 현미경이 내장되어 있는데, 이 현미경은 0.5nm 정확도를 달성할 수 있으며, 장치 제작의 모든 단계를 포괄하는 광범위한 측정 (measuration) 기능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 고급 광학 인식 시스템 (Optical Recognition Machine) 을 사용하여 웨이퍼의 장치, 활성 영역 및 결함을 식별합니다. 따라서 서피스 형태 및 컴포지션, 결함, 필름 두께, 오버레이 등록, 도핑 프로파일 등의 특성을 정확하고 조정적으로 측정할 수 있습니다. AMAT VeraSEM은 또한 테스트 중에 웨이퍼 안정성을 보장하는 자동 웨이퍼 처리 도구를 제공합니다. 자산은 다양한 모양, 크기, 방향을 가진 웨이퍼 (wafer) 를 처리하여 테스트 중에 웨이퍼 (wafer) 의 방향을 유지할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 선폭 (line width), 오버레이 정확도 (overlay accuracy), 두께 (thickness) 와 같은 장치 특성을 측정하는 다양한 도량형 도구를 제공하며 웨이퍼에서 나노 스케일 객체를 보고 분석하는 이미징 기능을 제공합니다. 이 장비에는 2 개의 통합 에디 전류 측정 기술이 포함되어 있어 박막 두께, 금속 필름 스트레스, 금속 라인 저항성 (metal line resistivity) 을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이것 은 더 정확 한 "필름 '과 장치 의 금속 층 을 식별 하고 측정 할 수 있게 해 준다. 마지막으로, APPLIED MATERIALS VeraSEM은 직관적인 사용자 인터페이스와 포괄적인 소프트웨어를 통해 지원되며, 이는 데이터 수집 및 분석을 단순화합니다. 이를 통해 사용자는 작업을 손쉽게 만들고, 사용자 정의할 수 있으며, 상세한 데이터 분석을 통해 포괄적인 보고서를 작성할 수 있습니다. 또한, 시스템은 다른 시스템 및 장치 (예: 판별기) 와 통합 될 수 있으며, 여러 개의 다른 장치를 동시에 테스트하는 데 이상적입니다.