판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9138846
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판매
ID: 9138846
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Automated CD metrology system, 8"
Open cassette
Wafer shape: Semi notch no flat (SNNF)
Wafer cassette: PP Miraial, 8"
Objective lens:
Scan coil 2-stage electromagnetic deflection (X- and Y-Axes)
Magnification: 1,000x to 400,000x (100um to 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio >14 : 1
Tilt function 5 degrees (4 Direction)
Resolution: 3nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220 x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (8")
External power distribution unit
Fun filter unit
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY Emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300V to 2,000V
Electromagnetic lens 3 stage electromagnetic lens
System with boosting voltage beam deflector module
Probe current:
Low: 5 pA
Medium: 10 pA
High: 20 pA
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 증착, 에칭, 리소그래피, 마스크 처리 등 다양한 웨이퍼 생산 프로세스를 정밀 분석할 수 있습니다. AMAT VeraSEM 3D는 전자 현미경 및 자율 광학 현미경을 포함한 다양한 강력한 기기를 제공합니다. APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D (APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D) 는 다양한 기능과 이점을 제공하여 운영 환경과 연구/개발 환경의 요구를 모두 충족하는 고성능 장치입니다. 기계 에 사용 되는 주요한 도구 는 전자 "마이크로스코프 '인데, 이것 은" 웨이퍼' 의 특징 을 정확 하게 측정 하고 "샘플 '의 완전 한 지형 지도 를 준비 할 수 있게 해 준다. 이 맵은 배치된 레이어의 결함, 하부 구조 및 구성을 감지하는 데 사용할 수 있습니다. 현미경은 또한 웨이퍼 내부 구조를 심층적으로 분석 할 수 있으며, 50 개가 넘는 표면 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 전자 현미경의 다른 특징으로는 자동 입자 분석 및 고급 이미징 기능이 있습니다. 베라 셈 3D (VeraSEM 3D) 에 사용되는 2 차 기기는 자율 광학 현미경으로, 다양한 광학 기술을 사용하여 표면 구조의 깊이와 특징 크기를 정확하게 측정합니다. 이 도구는 매우 다양하며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 기판에서 광범위한 피쳐 치수를 측정 할 수 있습니다. 그 현미경 은 또한 "웨이퍼 '표면 에 존재 하는 여러 종류 의 오염 물질 의 분포량 을 측정 할 수 있다. AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D 자산에는 다양한 고급 데이터 획득 및 분석 도구도 포함되어 있습니다. 이러한 도구를 사용하면 웨이퍼 테스트 및 도량형과 관련된 프로세스를 정확하게 자동화할 수 있습니다. 이 모델은 다른 시스템/소프트웨어와 상호 작용할 수 있으며, 다양한 소스 (source) 에서 다양한 데이터를 액세스할 수 있습니다. AMAT VeraSEM 3D는 업계 최고의 장비로, 사용자가 웨이퍼 생산의 여러 측면을 정확하게 테스트하고 측정할 수 있습니다. 이 "시스템 '이 어떤 연구 개발 혹은 생산 환경 에 귀중 한 자산 이 되는지 그 특징 과 강력 한 도구 들 의 범위 를 이루고 있읍니다.
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