판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9390681

AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D
ID: 9390681
Critical Dimension Scanning Electron Microscopes (CD-SEM).
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D는 종합적인 리소그래피 생산 테스트 및 장애 분석 기능을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 프런트엔드 (Front-End) 및 인터커넥트 (Interconnect) 구조를 포함하여 반도체 기판에서 단일/다중 레벨 구조를 정확하고 효율적으로 특성화할 수 있는 다양한 기능과 기능을 갖추고 있습니다. AMAT NANOSEM 3D (AMAT NANOSEM 3D) 는 고속 여러 프로브를 자동으로 스캔하는 다중 프로브 나노매니픽팅 (multiprobe nanomanipulating) 단계와 정밀한 측정 및 분석을 위한 고해상도 디지털 이미지 캡처 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 2 차원 및 3 차원 (3D) 형식 모두에서 최대 1024 X 1024 픽셀의 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 이는 미세 편차, 두께 및 재료 예금 차이, 기판의 구조 지형을 평가하는 데 이상적입니다. 이 시스템은 데이터 파일의 자동 사전/사후 처리 툴을 제공하는 광 도구 키트 (Optical Tool Kit) 와 직접 데이터 가져오기/내보내기 (direct data import and export) 소프트웨어 지원을 포함한 다양한 소프트웨어 옵션으로 제작되어 테스트 데이터를 더욱 쉽게 분석할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 SNMS (Scanning Nanoprobe Manipulating Software) 와 같은 다양한 소프트웨어 패키지와 통합되어 사용자가 지정된 기판으로 스캐닝 프로브를 정확하게 탐색 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D (APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D) 는 운영 모니터링 및 데이터 로깅을 효율적이고 온도에 민감한 기판에 대한 열 제어를 위한 통합 프로세스 모니터링 및 제어 시스템을 제공하여 안정적인 웨이퍼 프로세스를 보장합니다. 또한, 에셋에는 X/Y 동작을위한 기계적 작동기와 기울기 및 스캔 속도의 닫힌 루프 제어를 위한 모니터가 있습니다. 또한, NANOSEM 3D는 딥 트렌치 에칭, CMP, 금속 계측 및 고밀도 유전체를 포함한 다양한 프로세스에 적용 될 수 있습니다. 핵심 프로세스 단계 (critical process steps) 와 품질 표준 (quality standard) 의 품질 제어를 유지하는 데 필요한 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다.
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