판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9357538

AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D
ID: 9357538
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM).
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D는 고급 프로세스 기술 개발의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 3 차원 이미징 및 분석을 사용하면 나노 스케일 (nanoscale) 에서 피쳐를 측정하고 특성화할 수 있습니다. AMAT NANOSEM 3D에는 nanoscale까지의 해상도로 3 차원 이미지를 생성 할 수있는 고해상도 X- 선 검출기를 갖춘 고급 멀티 채널 SEM (scanning electron microscope) 이 장착되어 있습니다. 또한, 시스템은 다양한 이미징 각도와 깊이를 제공하기 위해 조정 할 수있는 가변 각도 (variable-angle) z-stage를 포함합니다. APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D는 고급 SEM을 갖춘 것 외에도 여러 가지 다른 기능을 제공합니다. 예를 들어, 3nm 이상의 해상도로 샘플의 지형을 분석 할 수있는 광학 현미경 (optical microscope) 이 장착되어 있습니다. 이 현미경은 또한 표본의 방향 각도 및 기울기 각도를 측정 할 수 있습니다. 이 장치의 소프트웨어를 사용하면 웨이퍼 테스트 및/또는 도량형 데이터의 정확한 측정 및 특성화가 가능합니다. 2D 데이터와 3D 데이터를 모두 측정할 수 있어 결과의 오류를 최소화할 수 있습니다. 또한, NANOSEM 3D는 반도체, 금속 및 절연체와 같은 다양한 다른 재료를 처리 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D는 웨이퍼 테스트 및 도량형에서 비교할 수없는 정확성과 정확도를 제공 할 수있는 매우 정교한 기계입니다. 나노 스케일 (nanoscale) 수준까지 기능을 측정하고 특성화하는 능력은 업계에서 비교할 수 없다. 결과적으로, 이 도구는 프로세스 기술 개발을 위한 강력한 도구로서, 오류를 줄이고, 수율을 향상시키는 데 도움이 되었습니다.
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