판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9222305
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판매
ID: 9222305
웨이퍼 크기: 8"
Wafer inspection system, 8"
Ultra controller: Series 350 ARM controller
1/2” Floppy – 5 1/4” floppy
High resolution probe
Non-contact capacitive probe measurement
Resolution: 10 um
Microns wafer thickness range: 400 to 800
Capable of measuring:
Lapped
Etched
Polished and patterned wafers
Measures bow and warp
Site and global flatness
Thickness with res station
System consist of:
(2) Cassette input stations
(3) Cassette output stations
Pre-aligner station
Hi-RES station
E-PLUS Advanced / Thickness, B/W station
Signal effector arm robot
9600 Power supply
Non contact P/N type tester for wafer resistivity from 0.1 to 200 ohm-cm
ADE 350 Arm controller
Auto A probe
ASC Controller.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600은 고성능 및 정확성을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 서브 미크론 결함 감지 기능과 대형 웨이퍼 용량을 제공합니다. 대용량 27형 터치스크린 모니터로, 이 장치는 다양한 웨이퍼 테스트, 검사, 도량형 어플리케이션을 위한 편리하고 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공합니다. ADE UltraScan 9600에는 업계 최고의 결함 분석 기술이 적용되어, 사용자가 미크론 이하의 정확도로 결함을 감지하고 특성화할 수 있습니다. 이 기계의 AutoDeck AutoTuneTM 자동 조정 기술은 여러 웨이퍼에서 정확한 테스트 결과를 보장합니다. 이 도구는 또한 한 번에 웨이퍼 배열을 처리 할 수 있으며, 높은 수율과 짧은 처리 시간 (turnaround time) 을 제공하는 높은 처리량을 제공합니다. 클라 울트라 스캔 (KLA ULTRA SCAN) 9600에는 뛰어난 스테이지 안정성 및 진동 격리를 제공하는 고급 스테이지 컨트롤 (Advanced Stage Control) 에셋이 장착되어 있어 모델의 소음을 줄이고 모듈과 웨이퍼 간의 크로스 토크를 제거합니다. 또한, 장비는 높은 진동 면역 및 RF 거부를 제공하여 처리량 및 반복 가능한 테스트 결과를 제공합니다. 이 시스템은 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 사용자는 USB 포트를 사용하여 PC 및 기타 외부 시스템에 연결할 수 있습니다. 발진 기능은 크래들에서 웨이퍼 위치를 조정하여 높은 정확도를 보장합니다. 또한, 이 장치에는 드리프트 (drift) 또는 손상 (damage) 에 대한 조기 경고에 대한 스마트 경보가 포함되어 있어 빠르고 정확한 문제 해결이 가능합니다. TENCOR ULTRA SCAN 9600에는 다양한 도량형 응용 프로그램을 지원하는 고급 알고리즘 라이브러리도 있습니다. 이러한 알고리즘에는 웨이퍼 표면 거칠기, 두께, 선형성 및 비균일성의 특성화가 포함됩니다. 이러한 알고리즘은 작은 차원의 변경 사항을 감지하고 자동화된 데이터 분석 (Automated Data Analysis) 을 수행하여 보다 빠르고 정확한 의사 결정을 내릴 수 있습니다. UltraScan 9600 은 또한 자동화된 가변성 추세, 정렬, 통계 분석 등 광범위한 데이터 분석 툴을 제공합니다. 이러한 도구는 시스템의 결함이 있는 부품을 식별하여, 최고의 성능과 안정성을 보장합니다. 전반적으로 TENCOR UltraScan 9600은 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 탁월한 결함 감지 및 자산 성능을 위한 첨단 (advanced) 기술을 제공하며, 통합 기능을 통해 다양한 도량형 (metrology) 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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