판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9241348

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300 장비는 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 강력하고 다양한 솔루션입니다. 제조업체가 웨이퍼의 결함 조건을 보다 효과적으로 추적하여 반도체 제작에서 프로세스 제어 (process control) 및 항복 관리 (Yield Management) 를 향상시킬 수 있습니다. 이 시스템은 2D 및 3D 형식의 고속 웨이퍼 스캐닝 및 분석을 최대 1.35hm 해상도로 제공합니다. 고급 이미지 처리 기능을 갖춘 10 배 및 4 배 광학 현미경이 장착되어 있습니다. 자동 현미경 스테이지 컨트롤러를 사용하면 X-Y, Z축 동작 및 내장 교정 프로파일을 사용하여 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 정확한 웨이퍼 매핑과 함께 ADE UltraScan 9300은 자동 결함 감지 (automated defect detection) 기능을 제공하여 빠르고 정확한 결함 분석을 지원합니다. 이 장치의 광학은 다양한 조건에서 이미지 획득을 최적화하기 위해 조정됩니다. 고출력 레이저 (Laser) 와 센서는 전방 (Forward) 과 반사 광변속기 (Reflected Light Transmission) 를 모두 측정하여 웨이퍼 두께 측정 및 분리된 입자 분석에 적합합니다. 이 기계는 또한 접촉 저항 (Contact Resistance), 리플로우 솔더 커버리지 (Reflow Solder Coverage), 서피스 거칠기 (Surface Roughness) 및 유전체 레이어 두께 (Dielectric Layer Thickness) 와 같은 중요한 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 직관적 인 소프트웨어 인터페이스는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력한 기능 세트를 제공합니다. 여기에는 3D 및 다중 슬라이스 이미징, 강력한 이미지 세그멘테이션 필터, 자동 결과 처리, 정확한 측정 및 결함 분석을위한 프로세스 후 조정 도구 모음이 포함됩니다. 이 소프트웨어에는 데이터, 이미지 및 보고서에 대한 사용자 정의 내보내기 옵션도 있습니다. KLA ULTRA SCAN 9300 은 설치, 유지 보수가 용이하며 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 그 견고 한 "디자인 '은 청정실 가동 을 위한 것 으로서 진동 과 충격 을 포함 한 환경 상태 에도 견딜 수 있도록 만들어졌다. 전반적으로 ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 설계된 안정성, 고속, 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 자동화된 직관적인 툴과 기능으로, 프로세스 제어를 개선하고 반도체 제작을 위한 관리 (management) 를 실현할 수 있습니다.