판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9245050
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ID: 9245050
Dimensional measurement system
ASC200 Controller included
Thickness: ± 1.00µ
Shape (Bow / Warp):
±( 3.00 + 5% of reading) µm
±( 4.00 + 5% of reading) µm
Global flatness: ± 0.50 µm
Integral wafer centering and pre-aligner
Backside contacting chuck
Vacuum chuck diameters:
Small (23.3 mm): 3", 100 mm -150 mm wafers
Large (33.4 mm): 125 mm- 200 mm wafers
Wafer contact materials:
Resting pads: Santoprene
Vacuum chuck: Polyurethane
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Auto-loader:
Single / Dual cassette
Sorting: Slot-to-slot / Cassette-to-cassette
Backside contact, horizontal cassette orientation
Wafer contact material: Teflon
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Conductivity type: P / N
Edge exclusion:
Thickness: 3 mm / 5 mm
Shape: 3 mm
Nominal wafer thickness: 250 µm - 750 µm
Resistivity: > 0.1-200 Ω cm
Edge gradient: 0.1 µm/mm
Power supply:
Temperature range: 12.7°- 29.4° C (55° - 85° F)
Relative humidity: 55 to 95% non-condensing
Vacuum: 0.6 SCFM, 635 mm (25") Hg ± 10%
Peak usage: 2.8 kVA
Voltage: 100/120/200/208/220/230/240 VAC ± 10%
50/60 Hz, Single phase.
ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520은 고급 자동 도량형 솔루션의 업계 벤치 마크를 설정하는 매우 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 정밀 기술, 혁신적인 설계 기능, 강력한 소프트웨어 기능을 결합하여 반도체 제조 공정에서 탁월한 정확성, 반복성, 효율성을 제공합니다. ADE UltraGage 9520 핵심에는 고급 측정 기술 (Advanced Measurement Technology) 이 있는데, 이 기술은 독점 알고리즘 및 센서 시스템을 활용하여 나노 미터 이하의 해상도와 중요한 웨이퍼 측정 작업의 뛰어난 정밀도를 달성합니다. 이 장치에는 고해상도 광학 검사기, 레이저 변위 센서, 커패시턴스 센서 및 기타 최첨단 센서가 장착되어 있어 Wafer Topography, Thickness, Film Unifority, 결함 감지 데이터를 정확하고 신뢰성이 뛰어납니다. KLA 9520 UltraGage (UltraGage) 를 차별화하는 주요 기능 중 하나는 다용도 및 모듈식 설계로, 기존 웨이퍼 생산 라인에 원활하게 통합하고, 특정 제조 요구 사항에 맞게 맞춤 구성할 수 있습니다. 이 툴은 단일 웨이퍼 (single-wafer), 배치 처리 모드 (batch-processing mode), 다양한 웨이퍼 크기, 재료, 프로세스 기술과의 호환성을 포함한 다양한 웨이퍼 처리 구성을 제공하여 R&D 및 대용량 생산 환경을 위한 다양한 솔루션입니다. UltraGage 9520 의 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 소프트웨어 플랫폼은 고급 데이터 분석 툴, 시각화 (Visualization) 기능, 실시간 모니터링 기능을 제공하여 검사 및 도량형 워크플로우를 간소화합니다. 이 자산은 종합적인 웨이퍼 맵, 3D 지형 이미지, 통계 분석 보고서를 생성하여 반도체 제작에서 프로세스 최적화, 결함 근본 원인 분석, 품질 관리 이니셔티브 등을 원활하게 수행할 수 있습니다. 고급 측정 기능 외에도 9520 UltraGage 는 높은 처리량 및 운영 효율성, 빠른 데이터 구입 속도, 신속한 웨이퍼 (Wafer) 로드 및 언로드, 자동 (Automated) 측정 루틴을 통해 다운타임을 최소화하고 운영 환경의 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 최신 반도체 제조 (Semiconductor Manufacturing) 의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 강력한 성능, 안정성, 유지 관리 편의성을 제공하여 고객에게 지속적인 운영 우수성과 장기적인 가치를 보장합니다. 전반적으로, TENCOR UltraGage 9520은 반도체 업계의 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구를 위한 최첨단 솔루션으로, 정밀 측정 기술, 다목적 설계 기능, 강력한 소프트웨어 기능을 결합하여 탁월한 프로세스 제어, 항복 최적화, 고급 반도체 제조 프로세스의 품질 보증. KLA UltraGage 9520 은 탁월한 정확성, 안정성, 효율성을 자랑하는 반도체 제조업체로서, 웨이퍼 생산의 최고 수준의 품질, 성능, 혁신을 실현하고자 합니다.
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