판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9239523

ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500은 고급 자동 측정 및 분석을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 레이저 현미경 및 광학 도량형 (optical metrology) 기술을 사용하여 빠른 처리 시간을 정확한 결과로 제공합니다. 이 장치는 레이저 스캔, 반음계 초점 이미징, 간섭계, 미세 초점 이미징의 조합을 결합하여 자세한 이미지와 웨이퍼 측정을 만듭니다. ADE Ultragage 9500은 단일 모터 구동 XYZ 포지셔닝 단계와 다양한 고급 자동 측정계 (automatedometer) 를 사용하여 웨이퍼의 다양한 매개변수를 정확하게 측정하는 단일 챔버, 자체 포함 기계입니다. 6축, 고출력 레이저, 광학 필터 및 간섭/간섭 요소가 포함된 광대역 이미징 헤드를 통해 고정밀도 및 성능을 보장합니다. 또한 2 축 보조 모터 드라이브가 확장 및 24/7 작동을 허용합니다. 이 툴은 매우 정확하고 반복 가능한 데이터 획득 (data acquisition) 자산을 자랑합니다. 이 자산은 광 (light) 이미지와 다크 필드 (darkfield) 이미지 모두에서 데이터를 얻을 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 자동화된 이미지 검색 (Image Retrieval) 및 분석 툴을 비롯한 여러 소프트웨어 패키지를 사용하여 데이터를 구체화하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 모델은 매우 구성 가능하며, 다른 크기와 방향 (wafer), 다른 매개변수 (parameter) 의 웨이퍼 (wafer) 를 측정하도록 사용자정의할 수 있습니다. 또한 단기 및 장기 실행에 걸쳐 통합적이고 광범위한 측정이 가능합니다. 이 장비는 또한 사용자 친화적이며 간편한 탐색 및 제어를 위해 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 와 3D 시각기 (Visualizer) 를 갖추고 있습니다. 또한 이 시스템은 고급 보안 (Advanced Security) 및 안전 (Safety) 기능과 적절한 작동을 보장하는 자세한 경고 장치를 제공합니다. 전반적으로, KLA Ultragage 9500은 매우 까다로운 실험실 및 산업 응용 분야에 사용하도록 설계된 매우 다목적, 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 또한 공간 효율이 높은 패키지로, 안전성과 일관성을 모두 유지하면서 최고의 정확성과 속도를 제공합니다.