판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9211013
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판매
ID: 9211013
웨이퍼 크기: 4"-8"
Wafer measurement system, 4"-8"
Single elevator
2D Contour map
ASC2000 Controller
Thickness centerpoint
Five point and full wafer scan
3 Point / Best fit reference: Bow and warp shape
500nm Design rule: Multifunctional dimensional measurements
GAST Vacuum pump
Data points: 8700 / 60 Seconds.
ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500은 마이크로 일렉트로닉스에서 중요한 구성 요소의 품질 제어를 보장하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 다른 파라미터 (parameter) 를 정확하게 측정함으로써 까다로운 마이크로 일렉트로닉스 산업을 수용합니다. 9500 은 자동화된 프로세스에 매우 적합하며 스트립 (strip) 및 웨이퍼 (wafer) 크리티컬 매개변수에서 업계 최고의 속도와 효율성을 제공합니다. 내장 도량형 스테이션은 웨이퍼 백사이드 특성, 트랜스듀서 DC 및 AC 매개 변수, 플래튼 높이 및 업리프트 힘과 같은 다양한 기능을 측정합니다. 9500은 3D 레이어 프로파일로메트리를 제공하여 웨이퍼 서피스의 품질에 대한 정확한 정보를 제공합니다. 고해상도 프로세스는 표면 결함을 감지하고 1um만큼 작습니다. 고유한 3D 레이어 인식 알고리즘은 정확한 측정을 생성하며, 이를 저장하고 다른 웨이퍼와 비교할 수 있습니다. 이 9500 모델은 또한 이중 광원 교정, 최대 75mm/s의 레이어 스캔 속도, 최대 30 개의 사용자 정의 설정에 맞게 사용자 정의 가능한 홈 페이지를 자랑합니다. 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능은 사용되는 재료에 따라 다른 동작을 예측하므로 비용과 테스트 시간을 줄일 수 있습니다. 9500은 또한 빠른 처리 및 분석 시간으로 유명합니다. 고급 사후 처리 (post-processing) 기능을 사용하면 여러 수준의 분석을 통해 신속하게 결과를 얻을 수 있으므로 추가 테스트를 실행할 필요가 없습니다. 또한, 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 는 테스트를 사용자 정의하기 위한 다양한 사전 설정 구성을 제공합니다. 이 9500 모델별 GUI 는 유용한 실시간 피드백 (feedback) 과 모든 표준 통계 매개변수를 제공하여 테스트 프로세스를 최대한 제어합니다. ADE Ultragage 9500 은 최고의 정밀 도량형을 제공하며, 다양한 매개변수를 통해 웨이퍼 (wafer) 의 중요한 품질 제어를 보장합니다. KLA Ultragage 9500은 종합적인 도량형 도구, 정적, 포스트 프로세스 기능, 빠른 처리 솔루션, 사용자 정의 가능한 GUI를 통해 마이크로일렉트로닉스의 테스트 및 품질 제어를 위한 뛰어난 시스템입니다.
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