판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033T #9281713
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ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033T는 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 장비로, 웨이퍼 제작 중 박막 두께와 임계 크기를 측정할 때 높은 수준의 정밀도와 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 추가 비용이 많이 드는 광학 현미경 (optical microscope) 없이 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 박막 구조의 고해상도, 비파괴 도량형을 제공합니다. 이를 통해 더욱 안정적이고 빠른 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 측정이 가능하며, 결국 웨이퍼 제조 프로세스의 생산성과 생산성을 향상시킵니다. 이 장치는 단단하고 닫힌 루프 (closed-loop) 자동 지원 플랫폼으로, 최신 측정 기술을 빠르고 정확하게 구현할 수 있습니다. 이 기계는 높은 광학 해상도 (optical resolution) 와 디지털 이미지 프로세서 (digital image processor) 를 결합하여 웨이퍼 표면에 지형 치수의 세부 맵을 제공합니다. 이렇게 하면 가장 작은 피쳐까지 정확하게 시각화 (visualization) 하고 분석할 수 있으며, 빠르고 정확한 측정이 가능합니다. 이 도구에는 2 개의 신호 빔 (signal beam) 과 2 개의 검출기 어레이 (detector array) 가 장착되어 있으며, 다양한 상대적인 기판 재료 및 응용 프로그램을 측정하면서 최대 정의와 정확도를 제공합니다. 결합 된 신호 빔과 검출기 어레이는 10,000 개 이상의 측정/초를 허용합니다. 이를 통해 고급 IC 및 WLP 구조에 이상적인 도량형 도구가됩니다. 온보드 소프트웨어 (On-board software) 를 통해 성능 모니터링 및 오작동 감지 (DETF) 를 통해 자산의 성능을 지속적으로 모니터링하고 필요에 따라 수정하여 정확한 처리량을 보장할 수 있습니다. 또한 ADE Microsense 6033T 는 사용자 친화적인 여러 가지 기능으로 구축되어 쉽게 설치, 운영할 수 있습니다. 여기에는 모델 센서의 정확한 포인팅과 간단한 GUI 기반 연산자 인터페이스 (operator interface) 를 위한 자동 정렬 루틴 (automated alignment routine) 이 포함됩니다. 또한 area-scan, scan translation, edge-trace 및 line-trace와 같은 여러 가지 모드가 제공됩니다. 유연성을 제공하며 주기 테스트 및 측정이 빨라집니다. 전반적으로 ADE의 KLA Microsense 6033T는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로 웨이퍼 표면의 박막 구조를 빠르고, 정확하고, 안정적으로 테스트 및 측정하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 속도, 정확도, 유연성을 완벽하게 조합하여 다양한 Wafer (Wafer) 구성 애플리케이션에 적합합니다.
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