판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301392

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035는 웨이퍼 제조에서 대용량 생산 및 품질 보증을 위해 설계된 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 작은 설치 공간과 최소한의 샘플 준비 요구 사항을 갖춘 컴팩트하고 모듈식 (compact/modular) 디자인이 특징입니다. 장비는 스크래치, 입자, 서피스 불완전 (surface imperfections) 과 같은 웨이퍼 결함을 신속하게 식별하는 고급 이미지 처리 하위 시스템 주위에 구축됩니다. 또한 사용자 정의 가능한 샘플링 포인트와 높은 정확도 수준으로 비파괴 3D 도량형 측정을 수행합니다. ADE MicRhoSense 6035에는 자동 탐색 및 샘플 처리가 가능한 통합 로봇 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 대용량 웨이퍼 로딩, 측면 공급 작업 및 진동 감소 샘플 홀더로 구성됩니다. 이를 통해 샘플이 가장 정밀하게 전송되고 처리됩니다. KLA MicRhoSense 6035의 결함 감지 기능은 부분적으로 Intelligent Imaging 플랫폼에 의해 구동됩니다. 이 혁신적인 소프트웨어 엔진은 고급 알고리즘을 사용하여 자동 입자 검출 (automated particle detection) 을 가능하게 하고, 플랫 샘플과 패턴 샘플을 모두 분석하여 웨이퍼 손상을 입힐 수 있습니다. 이 이미지 처리 하위 시스템은 개별 사용자 요구에 따라 구성할 수 있으며, 주기적 (periodic), 지속적 (sustained), 임의 (random) 결함 등 다양한 결함을 식별할 수 있습니다. MicRhoSense 6035는 또한 웨이퍼 표면 지형의 고속, 비 접촉 3D 매핑을위한 레이저 산포 어레이를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 평면 텍스처와 복잡한 구조화된 서피스 모두에 대해 매우 작은 노이즈 레벨 (noise level) 로 정확한 측정이 가능합니다. 이 머신은 또한 높은 처리량 (throughput) 작업에 최적화되어 있으며, 샘플 당 50 초의 예상 획득 시간이 있습니다. 마지막으로, 생산성과 사용 편의성을 위해 TENCOR MicRhoSense 6035는 자동 ADE 소프트웨어 플랫폼과 호환됩니다. 이를 통해 단일 플랫폼에서 손쉽게 통합 및 작동할 수 있으며, 고급 도량형 (Advanced Metrology) 알고리즘을 갖춘 소프트웨어 툴을 통해 빠르고 정확한 데이터 분석을 수행할 수 있습니다. 이러한 기능은 비용 효율성과 함께 ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035가 모든 웨이퍼 제조 요구 사항에 대해 강력하면서도 사용자 친화적 인 테스트 및 도량형 솔루션인지 확인합니다.