판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9157018
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ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035는 최고의 효율성, 정확성 및 신뢰성을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 0 ~ 6035 옹스트롬의 전기/광학 매개변수에 대한 웨이퍼 수준 측정을 제공하며, 웨이퍼 성능에 대한 자세한 통찰력을 제공하여 제조업체의 제품을 더 잘 이해할 수 있습니다. 이 시스템에는 인라인 반사율 측정을위한 망원경 이중 축 반사계 (ARDER), 표준 웨이퍼의 상면 및 측면 뷰를위한 자동 웨이퍼 매핑 현미경, 측정 및 분석을위한 고급 컬러 이미징 및 밝기 데이터가 포함됩니다. 분석. 최대 6.035nm의 웨이퍼 스펙트럼 (Wafer Spectrum) 의 전체 적용 범위 덕분에 IC (Integrated Circuit) 및 IC 이외의 테스트 조각을 모두 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. ADE MicRhoSense 6035는 최대 230dB의 높은 동적 범위 (dynamic range) 와 5mm (최소 linwidth) 를 특징으로하며 좁은 기능, 세밀한 선 및 얇은 층으로 다이를 측정하는 데 적합합니다. 또한, 이 장치는 처리량이 많은 다양한 재료를 처리할 수 있으며, 신뢰성 있는 교정 (calibration) 및 검증 (validation) 기능을 제공합니다. 자동화된 이득 (gain) 및 오프셋 (offset) 수정 알고리즘이 장착되어 있어 정확성과 반복성을 향상시킵니다. 이 기계에는 자체 테스트 (자동 결함 검사) 기능이 내장되어 있으며, 이 기능은 프로세스 자동 진단에 사용할 수 있습니다. KLA MicRhoSense 6035는 데이터 평가 및 분석을위한 고급 소프트웨어, 빔 스플리터 (Beam Splitter), 폴라라이저 (Polarizer) 와 같은 다양한 액세서리, 광범위한 마이크로 검사 및 도량형 도구 등 다양한 옵션을 제공합니다. 이 도구는 효율성과 정확성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 결함 분석 (fault analysis), 프로세스 제어 (process control), 결함 감지 (defect detection), 검증 (qualification) 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 자산은 생산 및 엔지니어링 팀, 반도체 회사, 웨이퍼 (wafer) 제조 시설을 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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