판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR HWM 9800 #9224635
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ADE/KLA/TENCOR HWM 9800은 까다로운 도량형 목표를 충족하면서 향상된 테스트 정확성과 반복성을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 측정 범위는 2 미크론에서 30 미크론까지 인라인 및 라인 끝에 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 자동 매개변수 튜닝 (automatic parameter tuning) 및 포괄적인 데이터 보고 기능을 제공하여 안정적인 테스트 결과를 보장합니다. ADE HWM 9800 은 강화된 표면, 3D 구조 등 다양한 재료 및 구조에서 유연하게 측정할 수 있는 고급 광 아키텍처 (Advanced Optical Architecture) 를 갖추고 있습니다. 이 단위는 CD-SEM 및 광학 산란 측량 (optical scatterometry) 을 포함한 다양한 도량형 기술로 다양한 유형의 웨이퍼를 정확하게 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 고급 옵틱은 전체 프로세스에 걸쳐 높은 수준의 측정 반복 가능성, 정확성, 프로세스 및 제품 추적 (product tracking) 을 보장합니다. 이 시스템은 자동 테스트 시퀀스 생성, 교정 최적화, 프로세스 제어, 데이터 로깅 등 고급 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 또한 강력한 데이터 관리 툴을 통해 테스트 주기를 간소화하고 결과를 시각적으로 파악할 수 있습니다 (영문). 따라서 운영자가 필요한 정보를 빠르고 쉽게 얻을 수 있습니다. 이 도구는 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 옵션도 지원합니다. 결함 검사, 오버레이 측정, 파라 메트릭 테스트, SFM 매핑 등 다양한 용도로 사용할 수 있습니다. 또한 KLA HWM 9800 은 빠른 로드 (loading) 및 자동 보정 (automated calibration) 을 비롯한 다양한 웨이퍼 처리 옵션을 제공하여 빠르고 정확하게 웨이퍼를 측정할 수 있습니다. 또한, TENCOR HWM 9800에는 측정 신뢰성을 향상시키기 위해 통합 진공 자산이 있습니다. 이 모델에는 또한 "레이저 '정렬 장비가 있어" 센서' 의 정밀한 정렬 및 최적의 정확성과 반복성을 보장합니다. 전반적으로, HWM 9800 (HWM 9800) 은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 보다 정확하고 안정적인 테스트 결과를 얻을 수있는 풍부한 기능을 제공합니다. 다양한 사용자 요구 사항에 맞는 다양한 기능을 제공하며, 자동화된 기능과 향상된 도량형 (Enhanced Metrology) 기능을 통해 최상의 수준의 측정/테스트 결과를 얻을 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다