판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9800 UltraScan #9046074

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ID: 9046074
Wafer characterization system, 8" ULTRASCAN 9800 Flat top standard base system: Wafer Size 6" and 8" High Accuracy Noncontact Prealigner E-Squared Advanced/Thickness, B/W Station May accommodate up to 5 cassettes Auto A Probe included Advanced System Controller 2000 and Accessories: UPS (uninterruptible power supply) System Software and Operating System: SCO 5.0 UNIX System Included: Part No. 9300-DEET Robot Dual End Effector Teflon Coated - 135° Part No. 7800-150-ASC2K Standard ASC Software for ASC2000 Part No. 7800-180 15" ViewSonic Flat Panel Monitor (2) Part No. 9300-36ND Send "Universal" cassette station (3) Part No. 9300-37ND Receive "Universal" cassette station Part No. 7800-6HZ System configured for 60 HZ Part No. 7820-220 Line Conditioner and Transformer, 4.8 kVA Input Voltage: 220 V 50/60 HZ Input: 9 Foot Linecord with L14-30P Plug Output: (1) L14-30R Receptacle Part No. 025106-01 Topside Non-contact type N or P type wafers Resistivity 0.1 to 200 ohm-cm Part No. 444001 ReportTools Part No. 9300-57EMI High Range EMI, High-Accuracy Resistivity Station (0.200 - 199.9 ohm/cm) Robot error when attempting to run calibration Currently installed 2004 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 9800 UltraScan은 데스크탑 웨이퍼 검사 및 도량형 장비로, 반도체 웨이퍼의 품질과 기능을 평가하기 위해 다양한 테스트를 수행합니다. 이 시스템은 고정밀도 분석 및 도량형 기능을 제공하여 웨이퍼의 구조적 특성을 결정합니다. 오염 물질 및 결함 스캐닝, 형태 및 크기 특성화, 전기 특성 측정, 통계 프로세스 제어 데이터 분석, 수익률 변동 및 제조 시간 감소 등 다양한 테스트를 수행 할 수 있습니다. ADE 9800 UltraScan 은 다양한 기능을 통해 반도체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 처리 장치 (Automated Wafer Handling Unit) 가 장착되어 신속한 샘플 교환 기능을 보장합니다. 또한 고급 이미징 (advanced imaging) 과 광학 (optics) 을 사용하여 웨이퍼 표면을 자세히 볼 수 있습니다. 또한, 이 기계는 스캐닝 전자 현미경 (Scanning Electron Microscopy) 및 초점 현미경 이미징 (confocal Microscopy Imaging) 을 포함한 다양한 분석 기술을 통해 다양한 응용 프로그램을 지원하도록 최적화되었습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 검사를 용이하게하기 위해 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 파퍼의 오염 물질과 결함을 식별하고 표면 마무리 품질을 검증하는 분석 기능이 있습니다. 또한 피치 (pitch), 모서리 프로파일 (edge profile), 반지름 (radius) 과 같은 웨이퍼 모양과 크기의 임계 충전을 측정하는 자세한 검사 및 도량형 기능이 있습니다. 또한 KLA 9800 UltraScan에는 강력한 SPC (Statistical Process Control) 제품군이 있어 SPC 차트와 제어 차트를 생성하여 생산 수율을 모니터링하고 제조 불규칙성을 파악할 수 있습니다. 이 시스템에는 원격 시스템 제어 및 데이터 공유를 위한 고급 네트워킹 기능도 있습니다. 또한 로컬 또는 광역 네트워크에 컨트롤러를 연결하는 이더넷 포트 (Ethernet Port) 와 다른 시스템과 통합하는 어플리케이션 프로그래밍 인터페이스 (Application Programming Interface) 가 있습니다. 이를 통해 9800 UltraScan을 공장 자동화 및 데이터 관리 시스템에 구축할 수 있습니다. 전체적으로 TENCOR 9800 UltraScan은 강력하고 정밀한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 고급 이미징 및 옵틱, 자동 웨이퍼 처리, 분석 기능, 상세 검사 및 도량형 기능, 강력한 SPC 제품군 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한, 원격 제어 및 데이터 공유를 위한 고급 네트워킹 기능이 있습니다. 이는 반도체 웨이퍼를 평가하고 생산 수율을 모니터링하는 데 이상적인 선택입니다.
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