판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9241349
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ID: 9241349
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
ASC 2000 System controller
Options:
(3) Receive cassettes
Hi Res station
Lo Res station
Dual end effector robot
Light curtain.
ADE/KLA/TENCOR 9600은 와퍼 레벨 제품의 전기 특성을 정확하게 측정하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. ADE 9600 시스템은 고급 빔 기반 현미경 기술과 로컬라이제이션 광학 장치 (optical unit) 를 통합하여 매우 정확하고 신뢰할 수 있습니다. 이 기계는 저항, 커패시턴스, 트랜지스터 특성과 같은 전기 매개변수의 웨이퍼 레벨 테스트 및 측정을 위해 자동 매핑을 제공합니다. KLA 9600은 독점적 인 이미지 기반 픽셀 분석 기술을 사용하여 잘못 정렬되고 왜곡되어 시스템 오류를 사실상 제거합니다. 하드웨어에는 이중 축 스캐너, 2 개의 이중 빔 현미경 및 뛰어난 이미징 성능을 제공하는 CCD 이미징 도구가 포함되어 있으며, 웨이퍼 전체에서 전기 매개변수의 서브 미콘 해상도를 가능하게합니다. 자산은 또한 종합적인 이미지 처리, 매핑, 분석, 진단 기능을 제공하는 고급 소프트웨어 제품군과 통합됩니다. 이 모델은 자동 (automated) 방식으로 작동하여 전체 웨이퍼 (wafer) 의 실시간 데이터 액세스를 포함하여 전체 테스트 및 검사 프로세스 전반에 걸쳐 완벽한 추적 기능을 제공합니다. 활성 교정 장비는 정확한 측정을 보장하며, 고유한 레시피 기반 데이터 관리를 통해 TENCOR 9600 (TENCOR 9600) 은 다른 처리 조건에 신속하게 적응할 수 있습니다. 9600은 현대 웨이퍼 (wafer) 기술의 변화하는 요구를 충족시킬 수 있는 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 특허받은 에지 후속 (edge-following) 기술을 통해 서브 미크론 공차 레벨과 웨이퍼 에지 포함 테스트를위한 정확한 에지 검출 (edge detection) 을 측정할 수 있습니다. 특유의 외부 보정 기능은 온도에 관계없이 일관된 결과를 보장합니다. 유연하고 확장 가능한 아키텍처를 통해 업그레이드 및 사용자 지정 (customization) 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 특성화에 이상적인 툴이 될 수 있습니다. 간단히 말해서, ADE/KLA/TENCOR 9600은 현대 웨이퍼 기술의 요구를 충족시키기 위해 안정적인 전기 파라미터 측정을 제공하기 위해 설계된 고급적이고 정밀한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 강력한 기능과 기술 덕분에, ADE 9600 은 지속적인 테스트/검증 프로세스에 탁월한 성능과 정확성을 제공합니다.
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